[發明專利]一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器

在審

• 申請號: 202010692654.0
• 申請日: 2020-07-17
• 公開（公告）號: CN111735531A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發明（設計）人: 張松;王大宇;董自強;張曉桐;苗峻
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十四研究所
• 主分類號: G01H11/06
• 分類號: G01H11/06
• 代理公司: 河北東尚律師事務所 13124
• 代理人: 王文慶

1.一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，包括水聽器主體和懸架，其水聽器主體包括壓電陶瓷環(16)和壓電陶瓷環外表面覆蓋灌裝的透聲密封殼體；壓電陶瓷環通過線纜與外部連接；其特征在于，所述水聽器主體還包括固定芯子(11)和至少兩個MEMS電容式加速度計(12)；所述壓電陶瓷環的頂部和底部均覆蓋有泡沫蓋板，所述固定芯子位于壓電陶瓷環內部，所述MEMS電容式加速度計均豎直設于固定芯子的側壁上，且相鄰的MEMS電容式加速度計相互垂直并且兩者中心位于同一高度；MEMS電容式加速度計通過穿透泡沫蓋板和透聲密封殼體的線纜與外部連接。

2.根據權利要求1所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述水聽器主體還包括垂直懸掛桿(15)，垂直懸掛桿穿過透聲密封殼體、泡沫蓋板和固定芯子，且垂直懸掛桿的兩端均露出于透聲密封殼體外；所述垂直懸掛桿的端部均設有通孔，且兩端的通孔(32)成正交關系。

3.根據權利要求1所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述固定芯子為圓柱體，垂直懸掛桿穿過圓柱體的中心線；MEMS電容式加速度計嵌在圓柱體的側壁上。

4.根據權利要求1或3所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述壓電陶瓷環的中心線和固定芯子的中心線重合。

5.根據權利要求1所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述MEMS電容式加速度計為四個，間隔設置的MEMS電容式加速度計呈鏡像對稱。

6.根據權利要求2所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述懸架包括兩個圓錐螺旋彈簧；兩個圓錐螺旋彈簧的錐頭分別與垂直懸掛桿的上、下通孔連接。

7.根據權利要求1所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述透聲密封殼體的材料為聚氨酯或丁基橡膠。

8.根據權利要求6所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述水聽器主體處于懸架的幾何中心位置。

9.根據權利要求1～6任意一項所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，包括懸架在內的主體的重心與其幾何中心重合。

10.根據權利要求1～6任意一項所述的一種小型化MEMS電容式復合同振型矢量水聽器，其特征在于，所述垂直懸掛桿和圓錐螺旋彈簧的材料為不銹鋼、鈦合金或尼龍材料。