[發明專利]具有基底和兩個帶光波導的結構元件的組件以及制造方法在審
| 申請號: | 202010692472.3 | 申請日: | 2020-07-17 |
| 公開(公告)號: | CN112241044A | 公開(公告)日: | 2021-01-19 |
| 發明(設計)人: | 漢斯-赫爾曼·奧珀曼;托爾加·特金;約格·斯托克梅耶;朱利安·弗勒利希 | 申請(專利權)人: | 弗勞恩霍夫應用研究促進協會 |
| 主分類號: | G02B6/12 | 分類號: | G02B6/12;G02B6/13 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 王瑞朋;衛娟 |
| 地址: | 德國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 具有 基底 兩個 波導 結構 元件 組件 以及 制造 方法 | ||
1.至少具有一個第一結構元件和一個第二結構元件(1、2、1’、2’)以及裝配裝置的組件,所述裝配裝置具有至少一個照相機(100)以及可控制的機械操縱裝置(101),所述結構元件分別與一個共同的平整的基底(3、3’)牢固連接,并且每個結構元件具有至少一個光波導(4、5、6、7),其中,所述結構元件在所述基底上緊接著彼此設置并且相對彼此設置為,使得所述結構元件的兩個聯接側(8、9)在聯接平面(10)的兩側上彼此對置,并且不同結構元件的分別在所述聯接側在聯接面(8a、9a)處終止的至少兩個光波導彼此對齊地定向并定位為,使得所述兩個光波導在端側彼此光聯接,其特征在于,
所述基底在其朝向所述結構元件的表面上具有可光學識別的第一基底標記組(11、12、13、14、15、41、42、43、44、64)以及可光學識別的第二基底標記組(16、17、18、19、20、45、46、47、48),
每個基底標記組分別具有至少一條直的、特別是至少兩條直的、彼此平行且彼此隔開的線(11、12、13、14、16、17、18、19),其中,所述線或其直的延長部分別貫穿所述聯接平面(10),
所述第一結構元件(1)具有第一結構元件標記組(21、22、23、24、33、34、35、36),并且所述第二結構元件具有第二結構元件標記組(25、26、27、28、37、38、39、40),其中,所述結構元件標記組分別具有直的、可光學識別的線或標記,所述可光學識別的線或標記平行于待聯接的光波導的縱向軸線(29、30)延伸,并且
所述裝配裝置設置為,將結構元件和基底如下組裝,使得所述結構元件借助結構元件標記組僅光學地對齊基底標記組的線(11、12、13、14、16、17、18、19、41、42、43、44、45、46、47、48)。
2.根據權利要求1所述的組件,其特征在于,在兩個結構元件(1、2、1'、2')中的待聯接的光波導(4、5、6、7)在裝配在所述基底(3,3’)上之后以距基底表面相同的距離延伸,其中,所述光波導特別是分別在所述結構元件(1、2、1'、2')的朝向所述基底的一側上設置在其表面上。
3.根據權利要求1或2所述的組件,其特征在于,所述結構元件(1、2、1'、2')與所述基底(3、3')以倒裝芯片技術連接。
4.根據權利要求1、2或3所述的組件,其特征在于,所述基底標記組(11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、41、42、43、44、45、46、47、48、64)中的至少一個基底標記組具有線(15、20),所述線平行于所述聯接平面(10)延伸。
5.根據權利要求1、2或3或4所述的組件,其特征在于,所述標記組的一條或多條線(11、12、13、14、15、16、17、18、19、20、21、22、23、24、25、26、27、28、33、34、35、36、37、38、39、40、41、42、43、44、45、46、47、48、64)是可光學識別的面的線條或邊棱。
6.根據權利要求1、2、3、4或5所述的組件,其特征在于,所述基底標記組的和/或所述結構元件標記組的一條或多條線(33、34、35、36、37、38、39、40、41、42、43、44、45、46、47、48)或所有線以小于90度的角相對聯接平面定向并且在所述聯接面(8a,9a)的區域中平行于所述結構元件的待聯接的光波導的縱向軸線(31、32)延伸,所述線或其延長部貫穿所述聯接平面(10)。
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