[發明專利]除塵管道及擴散設備在審
| 申請號： | 202010691355.5 | 申請日： | 2020-07-17 |
| 公開（公告）號： | CN112077084A | 公開（公告）日： | 2020-12-15 |
| 發明（設計）人： | 安重鎰;李相遇;金成基;熊文娟;蔣浩杰;李亭亭;丁云凌 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所;真芯（北京）半導體有限責任公司 |
| 主分類號： | B08B9/032 | 分類號： | B08B9/032;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京辰權知識產權代理有限公司 11619 | 代理人： | 郎志濤 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 除塵 管道 擴散 設備 | ||
1.一種除塵管道，其特征在于，包括：
管體，所述管體的內部設有用于排氣氣流流動的管腔；
至少一個吹氣單元，所述吹氣單元用于與氣源相連通，所述吹氣單元上的至少部分結構設于所述管腔內，所述吹氣單元設于所述管腔內的所述至少部分結構上設有至少一個吹氣孔。
2.根據權利要求1所述的除塵管道，其特征在于，所述吹氣孔的吹氣方向與所述排氣氣流保持順向。
3.根據權利要求1所述的除塵管道，其特征在于，所述吹氣孔的吹氣方向朝向所述管體的內壁面設置。
4.根據權利要求1所述的除塵管道，其特征在于，所述吹氣單元包括第一管段和第二管段，所述第一管段的一端設于所述管體的外部并用于與所述氣源相連通，所述第一管段的另一端插接至所述管體的內部并與所述第二管段相連通，所述第二管段設于所述管腔內，所示至少一個吹氣孔設于所述第二管段上。
5.根據權利要求4所述的除塵管道，其特征在于，所述第二管段的底面和側面均設有所述吹氣孔。
6.根據權利要求4所述的除塵管道，其特征在于，所述吹氣單元的數量為多個，多個所述第二管段中任一個所述第二管段與所述管體的延伸方向一致，且多個所述第二管段相互間隔環設于所述管體的內壁上。
7.根據權利要求4所述的除塵管道，其特征在于，所述吹氣單元的數量為多個，多個所述第二管段沿所述管體的延伸方向間隔設于所述管體的內壁上。
8.根據權利要求1至7中任一項所述的除塵管道，其特征在于，所述吹氣孔的形狀為圓形、橢圓形或多邊形。
9.一種擴散設備，其特征在于，所述擴散設備具有根據權利要求1至8中任一項所述的除塵管道。
10.根據權利要求9所述的擴散設備，其特征在于，所述除塵管道為所述擴散設備的排氣管。
11.根據權利要求9所述的擴散設備，其特征在于，所述擴散設備為立式擴散爐。
12.根據權利要求9至11中任一項所述的擴散設備，其特征在于，所述擴散設備還具有氣源，所述氣源與所述吹氣單元相連通，所述氣源內的氣體為惰性氣體。
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