[發明專利]用于金剛石線電沉積設備的新型輥筒在審
| 申請號: | 202010691161.5 | 申請日: | 2020-07-17 |
| 公開(公告)號: | CN111945214A | 公開(公告)日: | 2020-11-17 |
| 發明(設計)人: | 曲東升;王新平 | 申請(專利權)人: | 揚州一線新材料有限公司 |
| 主分類號: | C25D17/20 | 分類號: | C25D17/20;C25D7/06;C25D15/00 |
| 代理公司: | 鄭州紅元帥專利代理事務所(普通合伙) 41117 | 代理人: | 張鳳姣 |
| 地址: | 225000 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 金剛石 沉積 設備 新型 | ||
本發明提供一種用于金剛石線電沉積設備的新型輥筒,其特征在于:金屬材質的圓柱體的內筒芯的外壁設有軸向凸臺,每個凸臺的上表面為圓弧面,且每個凸臺的上表面的圓弧面是一個與內筒芯同軸的圓柱體面的一部分;金屬材質的圓柱體的外套圈的外壁設有環形溝槽,環形溝槽的底面設有通孔;外套圈套設在內筒芯之外形成輥筒;內筒芯與金屬材質的軸固連,軸架設在兩側的軸座的軸承上。本發明提供了一種結構簡單、配合精度高、運行中線網平穩及過程無電打火現象的金剛石線電沉積的輥筒。
技術領域
本發明屬于電沉積設備領域,尤其涉及到一種金剛石線電沉積設備的輥筒。
背景技術
新能源已經成為當前乃至未來長遠發展主題之一,隨著國內外對能源安全及環境保護問題的高度重視,太陽能是取之不盡用之不竭的新能源,光伏正是利用的太陽能而發電供給千家萬戶,近幾年得到了迅猛發展。
其中光伏快速發展離不開其配套的裝備技術的突破與發展,以金剛石線為代表的金剛石線鋸工具在硅晶體的切斷和切片領域得到了廣泛的應用,其市場需求量日趨增大。
為了提高生產效率,在電沉積槽兩端增加輥筒方式,多根金剛石線平行纏繞在兩端輥筒上,形成線網,整個線網為陰極,浸沒在電沉積液內,輥筒兩端軸端通過接入電源陰極給輥筒導電,電沉積液的鈦籃為陽極。通電形成回路,輥筒以恒定的速度旋轉,帶動線網在電沉積液中走過,電沉積液內含有金剛石,最終金剛石通過電沉積被包裹在線基體表面形成金剛石線。
現有輥筒結構為鼠籠式結構,中間軸為支撐軸與導電體,多槽隔板為非金屬體,與線接觸的為若干個金屬圓桿,達到了接觸面積少,但輥筒轉動過程中帶來了線體跳動,使得線與桿之間的接觸不良,容易產生電火花現象、跳槽并線現象,從而引起產品不良及斷線。
發明內容
本發明提供用于金剛石線電沉積設備的新型輥筒,其目的是解決現有技術的缺點,提供了一種結構簡單、配合精度高、運行中線網平穩及過程無電打火現象的金剛石線電沉積的輥筒。
本發明解決其技術問題所采用的技術方案是:
用于金剛石線電沉積設備的新型輥筒,其特征在于:
金屬材質的圓柱體的內筒芯的外壁設有軸向凸臺,每個凸臺的上表面為圓弧面,且每個凸臺的上表面的圓弧面是一個與內筒芯同軸的圓柱體面的一部分;
金屬材質的圓柱體的外套圈的外壁設有環形溝槽,環形溝槽的底面設有通孔;
外套圈套設在內筒芯之外形成輥筒;
內筒芯與金屬材質的軸固連,軸架設在兩側的軸座的軸承上。
軸向凸臺為圓周均布。
相鄰的環形溝槽的間距相同。
通孔為圓周均布。
外套圈的內壁設有圓周均布的軸向凸臺。
內筒芯通過鍵結構與軸連接。
軸兩端加工有用來連接導電滑環螺紋孔。
有益效果:
與現有技術相比,本發明輥筒上的金剛石線行走軌跡不再是多邊形,而是圓;解決了金剛石線、輥筒的相對跳動問題。本發明中內筒芯外壁為齒輪形貌,因此金剛石線的接觸輪廓為輪廓圓,但又不是完整的圓,保證了接觸良好外,實現了接觸面積少原則。由于接觸輪廓為圓,所以也避免了通常用的桿接觸帶來局部電流過高問題以及行走過程中的線體跳動問題。本發明整體基體為金屬體,導電優良,能夠有效避免現有的輥筒上塑料槽牙之間長鎳瘤現象,從而避免生產過程中斷線。多槽金屬外套圈一次加工成型,與齒輪形內筒芯配合精度高,安裝調節好后,無需重復調節,提高設備稼動率。
附圖說明
下面結合附圖和實施例對本發明進一步說明。
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