[發明專利]一種超臨界流體清洗方法及其裝置

在審

• 申請號: 202010691159.8
• 申請日: 2020-07-17
• 公開（公告）號: CN111974752A
• 公開（公告）日: 2020-11-24
• 發明（設計）人: 楊景峰;李衛平;楊凡
• 申請（專利權）人: 洛陽麥透鋒科技發展有限公司
• 主分類號: B08B7/00
• 分類號: B08B7/00;B08B13/00
• 代理公司: 上海領譽知識產權代理有限公司 31383
• 代理人: 高振紅

1.一種超臨界流體清洗方法，其特征在于，包括步驟：

向清洗室內持續通入超臨界流體；

交替改變所述清洗室內的壓力或工件的溫度，以使所述超臨界流體在所述工件表面的污染物中重復形成空穴或氣泡，所述污染物脫離工件表面；

將脫離工件的所述污染物隨所述超臨界流體排出，完成工件清洗。

2.根據權利要求1所述的超臨界流體清洗方法，其特征在于，所述超臨界流體為二氧化碳、氮氣、水、空氣或惰性氣體。

3.根據權利要求1所述的超臨界流體清洗方法，其特征在于，所述交替改變所述清洗室內的壓力的工藝為：脈沖式通入所述超臨界流體，或所述超臨界流體通入橫截面積不同的所述清洗室。

4.根據權利要求1所述的超臨界流體清洗方法，其特征在于，所述交替改變所述工件的溫度的工藝為：采用加熱方式改變所述工件的表面溫度。

5.根據權利要求1所述的超臨界流體清洗方法，其特征在于，排出的含有所述污染物的超臨界流體經減壓分離、增壓以及降溫后，重新轉化為超臨界流體進行循環利用。

6.根據權利要求1所述的超臨界流體清洗方法，其特征在于，還包括：

在通入所述清洗室前，預先向所述超臨界流體中加入甲醇、乙醇、丙酮中的一種或幾種的混合。

7.一種如權利要求1-6任一項所述方法的超臨界流體清洗裝置，其特征在于，包括：

一流體儲罐，以提供流體源，所述流體源經增壓、換熱后轉換為超臨界流體；

一清洗室，其連接所述流體儲罐，可通入或排放所述超臨界流體，且其由至少兩個橫截面積不同的清洗腔體構成。

8.根據權利要求7所述的超臨界流體清洗裝置，其特征在于，還包括：

一加熱器，其設置于所述清洗室內的工件架上，以對所述工件進行加熱。

9.根據權利要求7所述的超臨界流體清洗裝置，其特征在于，還包括：

一增壓泵，其連接所述流體儲罐；和

一換熱器，其入口連接所述增壓泵，出口連接所述清洗室；

其中，所述流體儲罐內的流體源依次經所述增壓泵增壓處理和經所述換熱器換熱處理后，轉換為超臨界流體通入所述清洗室。

10.根據權利要求7所述的超臨界流體清洗裝置，其特征在于，還包括：

一引風機，其連接所述清洗室；和

一分離罐，其入口連接所述引風機，出口分別與所述流體儲罐和換熱器連接；

其中，經所述清洗室排出的含有污染物的超臨界流體通過所述引風機送入所述分離罐進行減壓、分離處理，分離后的流體存儲于所述流體儲罐內或經換熱器換熱后，轉換為超臨界流體循環通入所述清洗室。

11.根據權利要求7所述的超臨界流體清洗裝置，其特征在于，所述清洗室包括相鄰布置且平滑過渡的第一清洗腔體和第二清洗腔體，其中：

所述第一清洗腔體上的進氣口連接所述換熱器；

所述第二清洗腔體上的排氣口連接所述引風機；

且所述第一清洗腔體的橫截面積大于所述第二清洗腔體的橫截面積。

12.根據權利要求11所述的超臨界流體清洗裝置，其特征在于，還包括：

一第一轉移室，其設置于所述第一清洗腔體的入口處；以及

一第二轉移室，其設置于所述第二清洗腔體的出口處。