日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發(fā)明專利]自對(duì)準(zhǔn)層圖案化在審

專利信息
申請(qǐng)?zhí)枺?/td> 202010690877.3 申請(qǐng)日: 2020-07-17
公開(公告)號(hào): CN112242303A 公開(公告)日: 2021-01-19
發(fā)明(設(shè)計(jì))人: B·T·曾;Y·K·蕭;J·博邁爾斯 申請(qǐng)(專利權(quán))人: IMEC非營(yíng)利協(xié)會(huì)
主分類號(hào): H01L21/336 分類號(hào): H01L21/336;H01L29/78;H01L21/308
代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 代理人: 胡利鳴;楊潔
地址: 比利*** 國(guó)省代碼: 暫無信息
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 對(duì)準(zhǔn) 圖案
【說明書】:

一種方法,包括以下步驟:a.通過自對(duì)準(zhǔn)多重圖案化來在要被圖案化的層(3)上形成規(guī)則地間隔開的芯模(4)的第一圖案,b.隨后,在所述芯模(4)的側(cè)壁上形成硬掩模間隔物(5),由此形成第二圖案,所述第二圖案由包括芯模(4)和其側(cè)壁上的硬掩模間隔物(5)的組裝件(4,5)來形成,以及c.隨后,在要被圖案化的層(3)中蝕刻所述第二圖案。

技術(shù)領(lǐng)域

發(fā)明涉及層圖案化的領(lǐng)域,且更具體而言涉及半導(dǎo)體材料中的平行線的圖案化,尤其是用于鰭式場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FinFET)柵極的形成。

背景技術(shù)

當(dāng)需要半導(dǎo)體材料中的平行線圖案時(shí),典型規(guī)程通常是用硬掩模覆蓋該半導(dǎo)體,以通過在硬掩模上光刻來形成光致抗蝕劑材料的平行線,隨后轉(zhuǎn)移硬掩模中的這些線并最終到半導(dǎo)體材料中。

例如,這一過程準(zhǔn)許形成由42nm寬的空間來間隔開的42nm寬的線。然而,形成更窄寬度的線超出了當(dāng)前光刻工藝的能力。為了提高線的密度,可以使用線倍增工藝,諸如SAMP(自對(duì)準(zhǔn)多重圖案化)。最簡(jiǎn)單的SAMP工藝是SADP(自對(duì)準(zhǔn)雙重圖案化)。在典型的SADP工藝中,光刻印刷圖案的每一條線將充當(dāng)硬掩模間隔物將被沉積在其上的核或芯模。硬掩模間隔物存在于芯模的側(cè)壁和頂部上。硬掩模間隔物隨后被回刻,直至芯模的頂部被暴露。芯模隨后可通過蝕刻被移除,從而留下由硬掩模間隔物形成的圖案。這一圖案隨后可被轉(zhuǎn)移在下層中。這一圖案將具有比光刻印刷圖案的節(jié)距小一倍的節(jié)距。線的密度由此被加倍。在我們的示例中,線和它們之間的空間現(xiàn)在各自是21nm寬。雖然SAMP在當(dāng)今是例行執(zhí)行的,但標(biāo)準(zhǔn)SAMP規(guī)程形成具有與線間的空間相同寬度的線。然而,這一特征并不總是合需的。因此,現(xiàn)有技術(shù)中存在對(duì)允許以直接光刻不可達(dá)成的節(jié)距來形成比線間空間更寬的線的方法的需求。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目標(biāo)是提供一種用于對(duì)層進(jìn)行圖案化的良好方法。

在第一方面,本發(fā)明涉及一種包括以下步驟的方法:

a.通過自對(duì)準(zhǔn)多重圖案化來在要被圖案化的層(3)上形成規(guī)則地間隔開的芯模(4)的第一圖案,

b.隨后,在所述芯模(4)的側(cè)壁上形成硬掩模間隔物(5),由此形成第二圖案,所述第二圖案由包括芯模(4)和其側(cè)壁上的硬掩模間隔物(5)的組裝件(4,5)來形成,以及

c.隨后,在要被圖案化的層(3)中蝕刻所述第二圖案。

本發(fā)明的這一第一方面提供了允許以直接光刻不可達(dá)成的節(jié)距來形成比線間空間更寬的線的規(guī)程。在背景技術(shù)部分中介紹的示例中,這可被解釋成節(jié)距保持在42nm,但其中線寬于21nm(例如,28nm),而它們之間的空間窄于21nm(例如,14nm)。

FinFET的形成需要半導(dǎo)體鰭和覆蓋該鰭的一部分的側(cè)面的柵極的形成。鰭的由柵極覆蓋的部分將充當(dāng)溝道,且柵極將被用來控制流過該溝道的電流。柵極的形成通常通過替代金屬柵(RMG)工藝來完成,涉及在該工藝的早期階段形成啞柵極并在該工藝結(jié)束處通過實(shí)際柵極堆疊來替換它。啞柵極是旨在占據(jù)將最終由實(shí)際柵極堆疊來占用的位置的犧牲結(jié)構(gòu)。啞柵極通常由多晶硅形成。如在圖12中描繪的,啞柵極(3)通常由該啞柵極頂部上的硬掩模來保護(hù),并且柵極間隔物(6)覆蓋啞柵極和硬掩模的側(cè)面。在RMG工藝的早期階段期間使用的蝕刻步驟期間,硬掩模從頂部保護(hù)啞柵極,并且在所述早期階段期間,柵極間隔物從側(cè)面保護(hù)啞柵極,同時(shí)界定將來實(shí)際柵極的橫向跨度。當(dāng)今,為了形成這些啞柵極,SAMP線倍增工藝被用來達(dá)成比純通過光刻能達(dá)到的柵極寬度更小的柵極寬度。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于IMEC非營(yíng)利協(xié)會(huì),未經(jīng)IMEC非營(yíng)利協(xié)會(huì)許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/202010690877.3/2.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國(guó)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計(jì)專利(升級(jí)中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級(jí)為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請(qǐng)您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊(cè)】

關(guān)于我們 尋求報(bào)道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識(shí) 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢?cè)诰€客服咨詢?cè)诰€客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 欧美一区二区三区久久精品| 三上悠亚亚洲精品一区二区| 国产乱人乱精一区二视频国产精品| 欧美一区二区三区免费观看视频| 欧美亚洲视频二区| 国产精品日韩一区二区三区| 日本免费电影一区二区三区| 亚洲精品少妇久久久久| 国产精品白浆一区二区| 高清在线一区二区| 99久久精品免费视频| 国产精品久久久麻豆| 国产69精品久久99的直播节目| 久久一级精品| 国产精品第157页| 女女百合互慰av| 久久精品综合视频| 亚洲精品少妇一区二区| 国产精品久久91| 午夜激情电影院| 天干天干天干夜夜爽av| 精品国产乱码久久久久久a丨| 国产一区二区三区网站| 国产91视频一区二区| 国产在线视频99| 日韩三区三区一区区欧69国产| av午夜在线观看| 福利片一区二区三区| 日韩精品久久久久久中文字幕8| 国产精自产拍久久久久久蜜 | 久久国产精品欧美| 91麻豆精品国产自产欧美一级在线观看 | 日本一区午夜艳熟免费| 国产97在线看| 亚洲精品国产setv| 在线播放国产一区| 亚洲精品卡一卡二| 国产精品综合一区二区| **毛片在线| 国产精品久久久久久久久久不蜜月| 亚洲欧美国产日韩色伦| 大bbw大bbw超大bbw| 夜夜夜夜夜猛噜噜噜噜噜gg| 亚洲国产精品日韩av不卡在线| 国产专区一区二区| 午夜影院伦理片| 激情欧美日韩| 波多野结衣女教师电影| 亚洲欧美色一区二区三区| 欧美一区久久| 日韩精品一区二区免费| 国产伦精品一区二区三区照片91| 亚洲国产精品一区在线| 91亚洲精品国偷拍自产| 狠狠色噜噜狠狠狠狠88| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 日韩精品久久一区二区三区| 26uuu亚洲电影在线观看| 国产欧美日韩亚洲另类第一第二页| 欧美高清xxxxx| 午夜看片网站| 国产精品日韩一区二区| 国产69精品久久久久999小说| 色乱码一区二区三区网站| 国产精品久久二区| 91香蕉一区二区三区在线观看| 夜夜嗨av一区二区三区中文字幕| 99国产精品免费| 久久久久亚洲国产精品| 国产精品综合一区二区三区| 销魂美女一区二区| 欧美一区二区三区精品免费| 一二三区欧美| 欧美日本一二三区| 久久九九国产精品| 国产玖玖爱精品视频| 欧美日韩精品在线一区二区| 欧美一区二区性放荡片| 日韩av免费电影| 日韩av中文字幕在线免费观看| 亚洲国产欧洲综合997久久,| 狠狠色很很在鲁视频| 国产精品1234区| 视频一区二区国产| 综合久久色| 欧美一区二区三区在线视频播放| 国产99久久久国产精品免费看| 999久久久国产精品| 国v精品久久久网| 欧美日韩精品在线一区| 99久久婷婷国产精品综合| 亚洲精品老司机| 91精品一区二区中文字幕| 99国产超薄丝袜足j在线观看| 大bbw大bbw超大bbw| 国产一区=区| 李采潭无删减版大尺度| 久久午夜无玛鲁丝片午夜精品| 精品欧美一区二区在线观看| 国偷自产中文字幕亚洲手机在线| 91丝袜国产在线播放| 97精品国产aⅴ7777| 在线亚洲精品| 日本二区在线观看| 97久久精品人人做人人爽| 91精品久久久久久| 91久久香蕉国产日韩欧美9色| 国产精品一区二区av麻豆| 国产精品久久免费视频在线| 亚洲国产精品二区| 国产白丝一区二区三区| 国产精品久久久久久久综合| 99国产精品久久久久老师| 国产精品18久久久久久白浆动漫| 国产91刺激对白在线播放| 免费毛片**| 日韩精品中文字幕一区二区| 日韩精品免费播放| 亚洲午夜久久久久久久久电影院| 午夜免费网址| 97久久精品人人澡人人爽| 国产乱码精品一区二区三区中文 | 99国产精品一区二区| 国内精品久久久久影院日本| 97久久国产亚洲精品超碰热| 午夜影院激情| 亚洲国产欧美一区二区三区丁香婷 | 欧美乱码精品一区二区三| 91精品一区在线观看| 亚洲国产欧美一区| 亚洲少妇一区二区三区| 91九色精品| 538国产精品一区二区在线| 国产精品乱战久久久| 久久夜色精品久久噜噜亚| 免费在线观看国产精品| 国产精品免费自拍| 91精品视频一区二区| 国产精品99999999| 午夜激情影院| 国产aⅴ精品久久久久久| 91秒拍国产福利一区| 女人被爽到高潮呻吟免费看| 精品国产九九九| 欧美一区二区三区中文字幕| 精品香蕉一区二区三区| 日韩午夜电影院| 久久艹亚洲| 久久er精品视频| 97人人澡人人添人人爽超碰| 97精品国产97久久久久久| 久久中文一区| 中文字幕精品一区二区三区在线| 国产乱人伦精品一区二区三区| 国产二区视频在线播放| 日韩av在线免费电影| 久久一区二| www色视频岛国| 国产一区二区三区的电影| 午夜剧场a级免费| 国产在线精品一区二区| 日韩精品中文字幕一区二区| 国产免费观看一区| 国产日韩精品一区二区三区| 性欧美一区二区| 国产日韩精品久久| 日韩精品久久久久久久的张开腿让| 免费的午夜毛片| 欧美人妖一区二区三区| 国产欧美一区二区三区在线| 国产午夜三级一区二区三| 欧美一区二区三区免费电影| 自偷自拍亚洲| 国产欧美一区二区三区精品观看| 日韩欧美一区二区在线视频| 日韩中文字幕亚洲精品欧美| 日韩国产精品一区二区| 国产欧美日韩一级| 制服丝袜二区| 亚洲精品老司机| 亚洲精品久久久久999中文字幕| 偷拍久久精品视频| 色一情一乱一乱一区免费网站| 国产午夜精品一区二区三区在线观看 | 日韩精品1区2区3区| 色噜噜狠狠色综合影视| 国产欧美一区二区三区免费看| 人人澡超碰碰97碰碰碰| 99久久久久久国产精品| 日韩中文字幕久久久97都市激情| 欧美日韩国产色综合一二三四| 狠狠躁日日躁狂躁夜夜躁av| 欧美日韩三区二区| 精品少妇一区二区三区| 99精品国产99久久久久久97| 国产伦精品一区二区三| 午夜伦全在线观看| 国产偷久久一区精品69| 国产真实一区二区三区| 性欧美1819sex性高播放| 日韩电影在线一区二区三区| 亚洲三区在线| 日韩欧美国产高清91| 国产色一区二区| 国产一区二区三区影院| 欧美亚洲另类小说| 欧美日韩亚洲另类| 性欧美精品动漫| 久久综合国产伦精品免费| 日韩av在线一区| 91波多野结衣| 国产精品自产拍在线观看桃花| 欧美人妖一区二区三区| 日韩精品一区在线视频| 日韩一级片免费观看| 久久五月精品| 久久精品男人的天堂| 国内精品99| 久久精品综合| 91精品第一页| 九九国产精品视频| 久久91久久久久麻豆精品| 在线国产91| 午夜av片| 清纯唯美经典一区二区| 中文字幕1区2区3区| 欧美久久精品一级c片| 99久精品视频| 欧美黄色一二三区| 国产伦精品一区二区三区照片91 | 日韩一区免费| 久久99精品国产一区二区三区| 日本福利一区二区| 美女脱免费看直播| 欧美精品日韩一区| 天摸夜夜添久久精品亚洲人成| 亚洲欧美国产精品久久| 欧美极品少妇xxxxⅹ| 亚洲精品www久久久久久广东| 99精品视频一区二区| 亚洲伊人久久影院| 国产精品国产三级国产专区51区| 国产日韩区| 国产精品天堂| 欧美精品免费一区二区| 精品videossexfreeohdbbw|