[發明專利]一種靶材離化冷卻承載機構

在審

• 申請號: 202010690773.2
• 申請日: 2020-07-17
• 公開（公告）號: CN111809155A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 王俊鋒;袁明;王鋒
• 申請（專利權）人: 廣東鼎泰機器人科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 東莞市華南專利商標事務所有限公司 44215
• 代理人: 袁敏怡

1.一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：包括安裝座、引弧機構、驅動機構、靶材夾頭機構、冷卻機構和至少一組真空管機構；所述真空管機構包括內管、外管、第一連接塊、第二連接塊和多個鎖緊件；

所述內管的兩端分別連接于第一連接塊和第二連接塊，所述外管的兩端分別連接于第一連接塊和第二連接塊，外管套設于內管的外側，外管與內管之間設置有冷卻液腔；所述外管設置有第一進水口和第一出水口，第一進水口和第一出水口均與冷卻液腔連通；所述第一連接塊連接于安裝座或相鄰真空管機構的第二連接塊，所述第二連接塊連接于相鄰真空管機構的第一連接塊，多個鎖緊件用于將第一連接塊鎖緊于安裝座，多個鎖緊件也用于將第二連接塊鎖緊于相鄰真空管機構的第一連接塊；所述外管的外側套設有電磁感應線圈；

所述靶材夾頭機構設置于安裝座并位于內管的內部，靶材夾頭機構用于夾緊待離化靶材；所述冷卻機構設置于安裝座并用于冷卻靶材夾頭機構所夾緊的待離化靶材；所述引弧機構轉動連接于安裝座并位于內管的內部，驅動機構設置于安裝座并用于驅動引弧機構轉動，引弧機構用于使靶材夾頭機構所夾緊的待離化靶材產生弧斑。

2.根據權利要求1所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述冷卻機構包括水管套、進水管、出水管、出水管鎖緊組件和熱交換座，所述熱交換座設置于安裝座的一側并位于內管的內部，水管套和出水管鎖緊組件設置于安裝座的另一側；所述水管套設置有第二進水口和第二出水口，所述熱交換座設置有第一容置腔、第二容置腔和通孔，通孔連通第一容置腔和第二容置腔，所述熱交換座與靶材夾頭機構連接，所述第一容置腔位于熱交換座靠近靶材夾頭機構的一端；所述出水管套設于進水管的外側，進水管與出水管之間設置有流通間隙；所述安裝座設置有安裝孔，安裝孔貫穿安裝座，所述進水管的一端連接于水管套，進水管的另一端穿經安裝孔并連接于熱交換座，進水管連通第二進水口和第一容置腔；所述出水管的一端連接于水管套，出水管的另一端穿經安裝孔并連接于熱交換座，出水管連通第二出水口和第二容置腔；所述出水管鎖緊組件用于將出水管鎖緊于安裝座。

3.根據權利要求2所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述水管套設置有第三容置腔和第四容置腔，第四容置腔連通第三容置腔和外界；所述第二進水口與第三容置腔連通，所述第二出水口與第四容置腔連通；所述第三容置腔的內壁設置有第一內螺紋，進水管的外壁設置有用于與第一內螺紋螺紋連接的第一外螺紋；所述第四容置腔的內壁設置有第二內螺紋，出水管的外壁設置有用于與第二內螺紋螺紋連接的第二外螺紋。

4.根據權利要求2或3所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述水管套設置有水管套密封圈、密封壓持套和密封圈鎖緊套；所述水管套密封圈和密封壓持套分別套設于出水管的外壁，密封壓持套用于將水管套密封圈壓持于水管套；所述密封圈鎖緊套的內壁設置有第三內螺紋，水管套的外壁設置有用于與第三內螺紋螺紋連接的第三外螺紋；所述密封圈鎖緊套卡扣著密封壓持套并用于將密封壓持套鎖緊于水管套。

5.根據權利要求2所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述出水管鎖緊組件包括出水管螺紋座，出水管螺紋座連接于安裝座，出水管螺紋座設置有出水管螺紋孔，出水管螺紋孔貫穿出水管螺紋座，出水管螺紋孔的內壁設置有第四內螺紋；所述出水管的外壁設置有用于與第四內螺紋螺紋連接的第四外螺紋。

6.根據權利要求2所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述靶材夾頭機構包括夾頭底座和夾頭座，所述夾頭底座連接于安裝座，夾頭座連接于夾頭底座遠離安裝座的一端，夾頭座用于夾緊待離化靶材；所述夾頭底座開設有冷卻機構容置腔，所述熱交換座位于冷卻機構容置腔內并抵觸著夾頭座的底部。

7.根據權利要求6所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述熱交換座和夾頭座之間設置有夾頭座密封圈，夾頭座密封圈用于密封熱交換座和夾頭座之間的間隙。

8.根據權利要求6所述的一種靶材離化冷卻承載機構，其特征在于：所述夾頭底座設置有絕緣套，絕緣套套設于夾頭座的外側。