[發明專利]信息處理裝置、信息處理系統、異常預測方法

有效

• 申請號: 202010690677.8
• 申請日: 2020-07-17
• 公開（公告）號: CN112296757B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 梅沢知紀
• 申請（專利權）人: 株式會社理光
• 主分類號: B23Q17/09
• 分類號: B23Q17/09
• 代理公司: 上海華誠知識產權代理有限公司 31300
• 代理人: 肖華

1.一種預測處理系統中發生的異常的信息處理裝置，該處理系統具備對工件實施第一處理的第一處理部、以及對經過所述第一處理部實施所述第一處理的工件實施第二處理的第二處理部，其特征在于，所述信息處理裝置具備，

檢測信息取得部，用于取得隨著所述第一處理部實施所述第一處理的動作而變化的第一檢測信息；

異常信息取得部，用于在對所述工件實施所述第二處理之前，取得第二異常信息，該第二異常信息表示所述第二處理部中發生異常；以及，

異常預測部，用于根據所述第一檢測信息和與所述第二異常信息對應設定的預測模型信息，預測所述第二處理的異常。

2.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其特征在于，

檢測信息取得部進一步取得隨著所述第二處理部的動作而變化的第二檢測信息，

根據該第二檢測信息，生成所述第二異常信息。

3.根據權利要求2所述的信息處理裝置，其特征在于，

所述信息處理裝置具備異常判斷部，用于根據所述第二檢測信息，判斷所述第二處理部中發生異常，

根據所述異常判斷部的判斷結果，生成所述第二異常信息。

4.根據權利要求3所述的信息處理裝置，其特征在于，所述異常判斷部將表示所述第二檢測信息的特征的第二特征信息與第二模型信息進行比較，判斷所述第二處理部中發生異常。

5.根據權利要求1至4中任意一項所述的信息處理裝置，其特征在于，

所述信息處理裝置具備預測模型信息設定部，用于根據表示所述第二處理部中發生異常時的工件在被實施所述第一處理時的第一檢測信號的特征的第一特征信息，來設定所述預測模型信息，

所述異常預測部通過比較表示所述第一檢測信息的特征的第一特征信息和所述預測模型信息，預測所述第二處理中的異常。

6.根據權利要求5所述的信息處理裝置，其特征在于，

所述信息處理裝置具備存儲控制部，用于將表示第一處理部所實施的多個第一處理的多個第一處理信息、以及表示第二處理部所實施的多個第二處理的多個第二處理信息保存到存儲部中，同時，將多個所述第一特征信息的各個第一特征信息與多個所述第一處理信息的各個第一處理信息相對應，保存到存儲部中，

所述第二異常信息與表示所述第二處理部中發生異常時的第二處理的第二處理信息相對應，

所述存儲控制部將對同一個工件分別實施的處理、且為多個所述第一處理信息之中的一個處理信息，與多個所述第二處理信息之中的一個處理信息相關聯后，保存到所述存儲部中，

所述預測模型信息設定部從所述存儲部中取得所述第二處理部中發生異常時的工件在被實施第一處理時的第一特征信息。

7.根據權利要求6所述的信息處理裝置，其特征在于，

所述信息處理裝置具備處理信息取得部，用于從所述第一處理部取得多個所述第一處理信息，同時，從所述第二處理部取得多個所述第二處理信息，

所述存儲控制部將所述處理信息取得部得到的多個所述第一處理信息和多個所述第二處理信息，保存在存儲部中。

8.一種信息處理系統，其特征在于，其中具備根據權利要求1至7中任意一項所述的信息處理裝置、以及用于檢測隨著所述第一處理部的動作而變化的物理量的第一檢測裝置，其中，

所述信息處理系統具備異常信息生成部，用于生成所述第二異常信息，

所述檢測信息取得部從所述第一檢測裝置取得基于所述第一檢測裝置檢測到的物理量的所述第一檢測信息，

所述異常信息取得部取得所述異常信息生成部生成的所述第二異常信息。