[發明專利]一種微米尺度表面微結構超精密加工方法在審
| 申請號： | 202010680462.8 | 申請日： | 2020-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN111906358A | 公開（公告）日： | 2020-11-10 |
| 發明（設計）人： | 姜忠;張敏;戴曉靜;陽紅;劉有海;孫守利;尹承真;楊光偉;曹中浩 | 申請（專利權）人： | 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所 |
| 主分類號： | B23C3/00 | 分類號： | B23C3/00;B23C9/00;B23Q17/22;B23Q17/10 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 唐邦英 |
| 地址： | 621000*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 微米 尺度 表面 微結構 精密 加工 方法 | ||
1.一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，以超精密數控機床作為加工平臺、采用球形微銑刀為銑削刀具，在加工過程中通過改變進給速度和主軸轉速以及刀具姿態來實現被加工零件的表面微結構加工。
2.根據權利要求1所述的一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)、表面微結構銑削路徑設計：將微結構加工分為進給方向銑削加工和行距方向銑削加工路徑；
2)、表面微結構銑削參數設計：依據微結構的高度和分布要求，設計銑削參數組合，參數組合包括行程進給方向切削參數主軸轉速S、進給速度F、行距P和切削深度dz；確定刀具直徑D和刀刃數N，根據刀具直徑D和刀刃數N選擇對應的銑削刀具；
3)、表面微結構銑削加工：按照設計的銑削路徑、表面微結構銑削參數，采用超精密數控機床和球形微銑刀對被加工零件表面進行銑削加工。
3.根據權利要求2所述的一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，表面微結構銑削路徑設計根據表面微結構分布要求設計，為平面銑削路徑或曲面銑削路徑。
4.根據權利要求2所述的一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，銑削參數設計根據所要求得到的表面微結構需要多次改變切削參數，構造切削參數集合[S,F,P,dz]。
5.根據權利要求1或2所述的一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，所述超精密數控機床包括三軸機床和五軸機床。
6.根據權利要求1或2所述的一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，所述銑削刀具的材料包括金剛石和硬質合金。
7.根據權利要求1或2所述的一種微米尺度表面微結構超精密加工方法，其特征在于，所述被加工零件為金屬材料或非金屬材料。
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