[發明專利]粒子計數器傳感器光束勻化和銳化的照明系統有效
| 申請號: | 202010672094.2 | 申請日: | 2020-07-14 |
| 公開(公告)號: | CN111795921B | 公開(公告)日: | 2023-08-22 |
| 發明(設計)人: | 戴昊;王春勇;來建成;嚴偉;李振華;紀運景 | 申請(專利權)人: | 南京理工大學 |
| 主分類號: | G01N15/14 | 分類號: | G01N15/14 |
| 代理公司: | 南京理工大學專利中心 32203 | 代理人: | 汪清 |
| 地址: | 210094 *** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 粒子 計數器 傳感器 光束 銳化 照明 系統 | ||
1.一種粒子計數器傳感器光束勻化和銳化的照明系統,其特征在于,包括半導體激光器(1),在半導體激光器(1)光束出射方向上依次設有第一非球面鏡(2)、微透鏡陣列散射片(3)、第二非球面鏡(4)、圓孔光闌(5)、柱面鏡(6)及矩形孔光闌(7);垂直于光束出射方向設有進氣嘴(9)和出氣嘴(10),采樣氣流從傳感器腔體進氣嘴(9)流入,從出氣嘴(10)流出,采樣氣流與光束交叉重疊區域形成光敏區(8);所述微透鏡陣列散射片(3)單元尺度在50μm以上;
半導體激光器發出的多模激光束通過第一非球面透鏡準直后,由微透鏡陣列散射片勻化,消除激光束經第一非球面透鏡形成的明暗條紋;經過第二非球面透鏡準直為平行光或準平行光,而后設置圓孔光闌過濾雜散光允許主光束通過,再由柱面鏡壓縮匯聚于光敏區;矩形光闌,用于過濾雜散光降低腔體的光學本底噪聲。
2.根據權利要求1所述的粒子計數器傳感器光束勻化和銳化的照明系統,其特征在于,所述圓孔光闌(5)孔徑為3.5±0.5mm。
3.跟據權利要求1所述的粒子計數器傳感器光束勻化和銳化的照明系統,其特征在于,矩形孔光闌(7)孔尺寸為長度4mm*寬度1mm,寬度方向與采樣氣流同向。
4.跟據權利要求1所述的粒子計數器傳感器光束勻化和銳化的照明系統,其特征在于,所述進氣嘴(9)、出氣嘴(10)均為圓形。
5.跟據權利要求1所述的粒子計數器傳感器光束勻化和銳化的照明系統,其特征在于,所述進氣嘴(9)伸入腔體內且離光敏區(8)距離為3~5mm,所述出氣嘴(10)不伸入腔體內。
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