[發(fā)明專利]檢測支撐裝置及缺陷檢測設備

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010660655.7
• 申請日: 2020-07-09
• 公開（公告）號: CN111650214A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設計）人: 李英坤;姜豪;劉風雷
• 申請（專利權）人: 浙江水晶光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/956
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 孫海杰

1.一種檢測支撐裝置，其特征在于，所述檢測支撐裝置包括：背光源(110)、支撐組件和透明載具(140)，所述支撐組件用于將所述透明載具(140)支撐于所述背光源(110)的出光側，所述透明載具(140)用于承載待測產品；

所述支撐組件包括間隔設置的第一支撐結構(120)和第二支撐結構(130)，且所述第一支撐結構(120)和第二支撐結構(130)之間的距離可調，以使所述支撐組件適配不同寬度的透明載具(140)。

2.根據權利要求1所述的檢測支撐裝置，其特征在于，所述檢測支撐裝置包括基座(150)，所述背光源(110)和所述支撐組件安裝在所述基座(150)上；

且所述第一支撐結構(120)與所述基座(150)滑動連接，和/或，所述第二支撐結構(130)與所述基座(150)滑動連接。

3.根據權利要求2所述的檢測支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐結構(120)相對于所述基座(150)固定；所述基座(150)上設置有滑槽，所述第二支撐結構(130)與所述滑槽滑動連接，所述滑槽的延伸方向與所述第一支撐結構(120)朝向第二支撐結構(130)的方向相同。

4.根據權利要求3所述的檢測支撐裝置，其特征在于，所述第二支撐結構(130)上設置有鎖緊螺紋件(160)，所述鎖緊螺紋件(160)鎖緊時，所述第二支撐結構(130)與所述基座(150)固定。

5.根據權利要求2所述的檢測支撐裝置，其特征在于，所述第一支撐結構(120)朝向所述第二支撐結構(130)的面上設置有向所述第二支撐結構(130)一側凸出的第一凸條，所述第一凸條與所述第一支撐結構(120)朝向所述第二支撐結構(130)的面垂直；

所述第二支撐結構(130)朝向所述第一支撐結構(120)的面上設置有向所述第一支撐結構(120)一側凸出的第二凸條，所述第二凸條與所述第二支撐結構(130)朝向所述第一支撐結構(120)的面垂直。

6.一種缺陷檢測設備，其特征在于，所述缺陷檢測設備包括權利要求1-5任意一項所述的檢測支撐裝置(100)；

所述缺陷檢測設備包括控制器和圖像采集裝置，所述檢測支撐裝置(100)位于所述圖像采集裝置的下方，所述圖像采集裝置用于對樣品的檢測區(qū)域進行拍照，從而獲得檢測圖像，所述控制器用于將檢測圖像與預設圖像進行比較，并判斷樣品是否具有缺陷。

7.根據權利要求6所述的缺陷檢測設備，其特征在于，所述圖像采集裝置和檢測支撐裝置(100)能夠分別在第一方向、第二方向和第三方向上產生相對運動，且第一方向、第二方向和第三方向彼此垂直。

8.根據權利要求6所述的缺陷檢測設備，其特征在于，所述圖像采集裝置包括鏡頭和補光裝置，所述補光裝置位于所述鏡頭和檢測支撐裝置(100)之間。

9.根據權利要求8所述的缺陷檢測設備，其特征在于，所述補光裝置包括固定臺(310)、升降結構(320)、旋轉調節(jié)環(huán)(330)和第一燈體(340)，所述升降結構(320)能夠相對于所述固定臺(310)沿第三方向滑動，且所述升降結構(320)與所述固定臺(310)上對應設置有第一限位結構，所述第一限位結構用于阻止所述升降結構(320)相對于所述固定臺(310)旋轉；

所述旋轉調節(jié)環(huán)(330)與所述升降結構(320)螺紋連接；所述固定臺(310)上設置有第二限位結構，所述第二限位結構用于阻止所述旋轉調節(jié)環(huán)(330)相對于所述固定臺(310)沿第一方向運動；

所述第一燈體(340)與所述升降結構(320)連接。