[發明專利]一種陀螺儀

在審

• 申請號: 202010655504.2
• 申請日: 2020-07-09
• 公開（公告）號: CN111964656A
• 公開（公告）日: 2020-11-20
• 發明（設計）人: 馬昭;占瞻;楊珊;李楊;譚秋喻;洪燕;黎家健;張睿
• 申請（專利權）人: 瑞聲科技（南京）有限公司
• 主分類號: G01C19/5719
• 分類號: G01C19/5719
• 代理公司: 深圳中細軟知識產權代理有限公司 44528
• 代理人: 袁文英

1.一種陀螺儀，其特征在于，包括：

外部錨點結構；

外層圓環結構；

內層圓環結構；

內層電極，所述內層電極相對所述內層圓環結構設置并與所述內層圓環結構形成至少一個驅動電極對和至少一個檢測電極對；

外層電極，所述外層電極相對所述外層圓環結構設置并與所述外側圓環結構形成至少一個驅動電極對和至少一個檢測電極對；

以及耦合梁結構，所述耦合梁結構設置在所述外部錨點結構與所述外層圓環結構之間以及所述外層圓環結構與所述內層圓環結構之間，所述耦合梁結構用于支撐所述外層圓環結構和所述內層圓環結構振動。

2.根據權利要求1所述的陀螺儀，其特征在于，所述耦合梁結構包括連接在所述外部錨點結構和所述外層圓環結構之間的第一耦合梁以及連接在所述外層圓環結構和所述內層圓環結構之間的第二耦合梁，所述第一耦合梁的數量為4＊N個，所述第二耦合梁的數量為4＊M個，其中N、M為正整數。

3.根據權利要求2所述的陀螺儀，其特征在于，所述第一耦合梁和所述第二耦合梁在所述陀螺儀的周向交錯布置，每一所述第一耦合梁位于兩個相鄰的所述第二耦合梁的中間位置，每一所述第二耦合梁位于兩個相鄰的所述第一耦合梁的中間位置。

4.根據權利要求1所述的陀螺儀，其特征在于，所述外層電極設置在所述外層圓環結構的內側或外側，所述內層電極設置在所述內層圓環結構的內側或外側。

5.根據權利要求4所述的陀螺儀，其特征在于，所述外層電極均勻布滿所述外層圓環結構的內側或外側，所述內層電極均勻布滿所述內層圓環結構的內側或外側。

6.根據權利要求1所述的陀螺儀，其特征在于，所述驅動電極對設置于所述陀螺儀周向的第一角度處，所述檢測電極對設置于所述陀螺儀周向的第二角度處；在所述陀螺儀的驅動模態下，所述內層圓環結構和所述外層圓環結構在所述第一角度處的位移最大；在所述陀螺儀的檢測模態下，所述內層圓環結構和所述外層圓環結構在所述第二角度處的位移最大。

7.根據權利要求6所述的陀螺儀，其特征在于，所述第一角度和所述第二角度相差(2L－1)＊45°，其中L＝1，3，5或7。

8.根據權利要求1所述的陀螺儀，其特征在于，所述內層電極相對所述內層圓環結構與所述內層圓環結構還形成至少一個頻率匹配電極和至少一個誤差抑制電極，所述頻率匹配電極用于匹配所述陀螺儀的驅動模態頻率和檢測模態頻率，所述誤差抑制電極用于抑制所述陀螺儀的正交誤差。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的陀螺儀，其特征在于，所述陀螺儀的內層圓環結構和所述外層圓環結構均工作于2θ模態。

10.根據權利要求9所述的陀螺儀，其特征在于，所述內層圓環結構和所述外層圓環結構的振動相位相差180°。