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[發明專利]一種高真空高溫運行裝置上窗口法蘭的局部冷卻結構在審

專利信息
申請號: 202010650769.3 申請日: 2020-07-08
公開(公告)號: CN113915809A 公開(公告)日: 2022-01-11
發明(設計)人: 石中兵;蔣敏;傅炳忠;鐘武律;聞杰;楊曾辰;方凱銳 申請(專利權)人: 核工業西南物理研究院
主分類號: F25D1/00 分類號: F25D1/00;F25D1/02;F16J15/10
代理公司: 核工業專利中心 11007 代理人: 劉昕宇
地址: 610041 四川*** 國省代碼: 四川;51
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 真空 高溫 運行 裝置 窗口 法蘭 局部 冷卻 結構
【權利要求書】:

1.一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:包括內密封結構(1),內密封結構(1)的內壁為內密封面(2),內密封面(2)的形狀與內部零件的形狀相匹配,在內密封結構(1)上方端面設置外密封結構體(4),外密封結構體(4)下方與內密封結構(1)固定連接,外密封結構體(4)的下端形成外密封面(9),外密封結構體(4)上方設置外密封壓盤(13),外密封結構體(4)與外密封壓盤(13)之間設置診斷窗口(10)。

2.如權利要求1所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:外密封結構體(4)與內密封結構(1)的連接面形成空腔,該空腔為冷卻通道(5),冷卻通道(5)通過外置進出冷卻管道(7)與外部連通,外置進出冷卻管道(7)與外密封結構體(4)固定連接。

3.如權利要求2所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:所述的內密封結構(1)和外密封結構體(4)通過第一超高真空密封焊(3)固定連接。

4.如權利要求3所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:所述的外置進出冷卻管道(7)與外密封結構體(4)通過第二超高真空密封焊(6)固定連接。

5.如權利要求4所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:外密封結構體(4)上設置內密封螺釘孔(12),通過設置在內密封螺釘孔(12)內的螺釘,將外密封結構體(4)固定與法蘭刀口面連接。

6.如權利要求5所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:外密封結構體(4)和外密封壓盤(13)上設置位置匹配的螺釘孔,兩個位置匹配后形成外密封螺釘孔(11),通過設置在外密封螺釘孔(11)中的螺釘將外密封結構體(4)和外密封壓盤(13)固定連接。

7.如權利要求6所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:所述的冷卻通道(5)沿外密封結構體(4)的外密封面(9)布置滿一周以上。

8.如權利要求7所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:所述的外密封結構體(4)與診斷窗口(10)之間還設置冷卻密封圈(8)。

9.如權利要求8所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:第一超高真空密封焊3和第二超高真空密封焊6的真空漏率小于1.0×10-10Pam3/sec。

10.如權利要求9所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:內密封面(2)為高真空臺階密封結構或刀口密封結構,該密封結構與裝置的真空法蘭結構匹配,所述外密封面(9)為高光潔度密封面。

11.如權利要求10所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:所述冷卻通道(5)為水冷通道或氣冷通道。

12.如權利要求11所述的一種高真空高溫烘烤運行裝置上法蘭的局域冷卻結構,其特征在于:在外密封結構體(4)中設置波紋管,該波紋管將外密封結構體(4)分為內外兩部分。

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