[發(fā)明專利]涂布頭組件及涂布機(jī)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010645867.8
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN111760749B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 甘旻諭;賴俞丞;涂晉益;廖經(jīng)皓
• 申請（專利權(quán)）人: 業(yè)成科技（成都）有限公司;業(yè)成光電（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
• 主分類號: B05C5/02
• 分類號: B05C5/02
• 代理公司: 成都希盛知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51226
• 代理人: 楊冬梅;張行知

1.一種涂布頭組件，其特征在于，包括：

一本體，包括：

一流道，設(shè)于該本體內(nèi)，且該流道從該本體內(nèi)延伸至該本體之外；

一分隔板，設(shè)于該本體內(nèi)，該分隔板上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)流量平衡區(qū)域，該些流量平衡區(qū)域在該本體內(nèi)與該流道連通，流體經(jīng)由該些流量平衡區(qū)域調(diào)整流動(dòng)特征再流入該流道；

一注液口，設(shè)于該本體之一側(cè)，用以將流體注入該本體中；及

一出液口，設(shè)于該本體相對于該注液口之一側(cè)，并連通該流道，用以將經(jīng)過該些流量平衡區(qū)域的流體輸出該本體并涂布在一目標(biāo)件上；

其中該本體更包括：

一間隔片，該間隔片具有相對的一第一表面與一第二表面，以及分別與該第一表面及該第二表面相接的一底面，該底面設(shè)有一缺口以形成該出液口，該缺口自該第一表面貫穿至該第二表面；

一第一涂布頭，連接于該第一表面，該分隔板設(shè)在該第一涂布頭內(nèi)；以及

一第二涂布頭，連接于該第二表面；

其中該間隔片、該第一涂布頭及該第二涂布頭相互配合以在該缺口處形成該流道；

其中該第一涂布頭內(nèi)具有一腔室，且該腔室藉由該分隔板分隔為第一分隔室及一第二分隔室，其中該第一分隔室位于該腔室遠(yuǎn)離該流道的位置，而第二分隔室則位于該腔室連通該流道的位置，該分隔板上設(shè)有復(fù)數(shù)個(gè)孔件，各該孔件分別包括：

一第一孔洞，系設(shè)在該孔件的中央位置；

復(fù)數(shù)第二孔洞，各該第二孔洞圍繞第一孔洞分布在該孔件上，各該第一孔洞之孔徑大于各該第二孔洞的孔徑；

該第一分隔室分別對應(yīng)各該第一孔洞及各該第二孔洞之位置為一進(jìn)液通道，該第二分隔室分別對應(yīng)各第一孔洞及各第二孔洞位置為一輸液通道，各該進(jìn)液通道的其中之一分別與各該輸液通道的其中之一相互對應(yīng)，并形成各該流量平衡區(qū)域；

更包含一流量檢測單元，該流量檢測單元包含一控制器、一第一感測元件及一第二感測元件，該第一感測元件及該第二感測元件分別用以感測流經(jīng)該些進(jìn)液通道及該些輸液通道之流體的流動(dòng)特征，并根據(jù)該流動(dòng)特征以分別產(chǎn)生第一感測訊號與第二感測訊號，該控制器電性連接該第一感測元件及該第二感測元件，并接收該第一感測訊號與該第二感測訊號，該控制器根據(jù)第一感測訊號與第二感測訊號調(diào)整將流體從該注液口注入該本體的流動(dòng)特征，令流體流經(jīng)該些進(jìn)液通道及該些輸液通道，而平均匯流于該出液口。

2.如權(quán)利要求1所述之涂布頭組件，其中該流道上自中央至二側(cè)邊之各處流體之間的流速差異為少于0.36％。

3.如權(quán)利要求1所述之涂布頭組件，其中該分隔板之高度為H，各該孔件之最大高度為h，其中1/2H≦h＜H。

4.如權(quán)利要求1所述之涂布頭組件，其中該分隔板之長度為L，該些孔件的數(shù)量介于1/5L～1/10L。

5.如權(quán)利要求1-4任一項(xiàng)所述之涂布頭組件，其中所涂布之流體，系包含壓電材料，目標(biāo)件系為基板，該流體經(jīng)由該涂布頭組件涂布于該基板上，形成一柔性壓電薄膜。

6.一種涂布機(jī)，其特征在于，包括：

一涂布平臺，涂布平臺系提供放置目標(biāo)件；及

如權(quán)利要求5所述之涂布頭組件，系設(shè)在對應(yīng)涂布平臺的位置，并對目標(biāo)件的表面涂布流體。