[發明專利]二極管雪崩擊穿能力測試系統

有效

• 申請號: 202010644271.6
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN111693842B
• 公開（公告）日: 2022-09-23
• 發明（設計）人: 于圣慧;李強
• 申請（專利權）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 成都極刻智慧知識產權代理事務所(普通合伙) 51310
• 代理人: 唐維虎

本申請實施例提供一種二極管雪崩擊穿能力測試系統，涉及半導體器件測試技術領域。該測試系統通過電位調節電路輸出的調節電壓及整流電路的反饋電壓控制驅動電路的工作狀態，以對整流電路輸出電壓進行調整，從而實現對施加在待測試二極管的電壓的調整。通過上述對施加在待測試二極管的電壓的調整，模擬待測試二極管的雪崩擊穿過程，依此比對不同待測試二極管的耐雪崩擊穿性能。

技術領域

本申請涉及半導體器件測試技術領域，具體而言，涉及一種二極管雪崩擊穿能力測試系統。

背景技術

相同VRRM(最大反向重復峰值電壓)參數的二極管(比如，肖特基二極管及快恢復二極管等)，由于設計、工藝、材料和芯片大小的不同，在電路中應用時，如果有過高反向電壓使其產生雪崩擊穿，不同的二極管其承受能力也是存在顯著差異的。主要原因是不同二極管的EAS(單脈沖最大雪崩能量)參數存在區別，EAS參數標定了不同二極管可以容忍的瞬時過沖電壓的安全值，目前二極管產品規格書一般不會標稱EAS參數，如何對不同二極管的雪崩擊穿能力進行測試，是本領域技術人員需要解決的技術問題。

發明內容

為了克服上述技術背景中所提及的技術問題，本申請實施例提供一種二極管雪崩擊穿能力測試系統。

本申請提供一種二極管雪崩擊穿能力測試系統，包括：方波發生電路、電位調節電路、穩壓反饋電路、驅動電路、開關電路、整流電路及測試電路；

所述方波發生電路用于產生方波信號；

所述穩壓反饋電路包括放大電路，所述放大電路與所述方波發生電路連接，用于將方波信號進行放大；

所述驅動電路與所述放大電路連接，用于對所述方波信號進行再次放大；

所述開關電路與所述驅動電路連接，所述開關電路包括變壓器，并通過所述變壓器提升輸出電壓；

所述整流電路與所述開關電路連接，對輸出電壓進行整流并放大；

所述測試電路與所述整流電路連接，并通過所述整流電路的輸出電壓對待測試二極管進行雪崩擊穿能力測試；

所述穩壓反饋電路還包括電壓反饋電路，所述電壓反饋電路分別與所述電位調節電路、整流電路及驅動電路連接，根據所述電位調節電路的調節電壓和所述整流電路的反饋電壓控制所述驅動電路的工作狀態，以改變所述整流電路的輸出電壓。

在本申請的一種可能實施例中，所述放大電路包括第一放大器和第二放大器，所述第一放大器的反相輸入端和所述第二放大器的同相輸入端與所述方波發生電路的輸出端連接，以分別對所述方波發生電路輸出的方波信號進行放大，所述第一放大器的輸出端和所述第二放大器的輸出端分別輸出兩個相位相反的方波信號。

在本申請的一種可能實施例中，所述驅動電路包括第一射極輸出電路及第二射極輸出電路，所述第一射極輸出電路的輸入端與所述第一放大器的輸出端連接，所述第二射極輸出電路的輸入端與所述第二放大器的輸出端連接，所述第一射極輸出電路的輸出端及所述第二射極輸出電路的輸出端與所述開關電路連接。

在本申請的一種可能實施例中，所述第一射極輸出電路包括第一NPN三極管、第一二極管，第一NPN三極管的基極作為所述第一射極輸出電路的輸入端，第一NPN三極管的發射極作為所述第一射極輸出電路的輸出端，所述第一二極管連接在第一NPN三極管的基極與發射極之間，用于加快所述第一NPN三極管的關斷速度；

所述第二射極輸出電路包括第二NPN三極管、第二二極管，第二NPN三極管的基極作為所述第二射極輸出電路的輸入端，第二NPN三極管的發射極作為所述第二射極輸出電路的輸出端，所述第二二極管連接在第二NPN三極管的基極與發射極之間，用于加快所述第二NPN三極管的關斷速度。

在本申請的一種可能實施例中，所述開關電路還包括：第一MOS管和第二MOS管；