[發明專利]應用于擴散爐的拉取裝置及拉取控制方法

在審

• 申請號: 202010644256.1
• 申請日: 2020-07-07
• 公開（公告）號: CN111649598A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發明（設計）人: 燕超;徐嘉
• 申請（專利權）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號: F27D99/00
• 分類號: F27D99/00;F27D19/00;H01L21/22
• 代理公司: 成都極刻智慧知識產權代理事務所(普通合伙) 51310
• 代理人: 唐維虎

1.一種應用于擴散爐的拉取裝置(100)，其特征在于，用于對擴散爐內的石英套管進行拉取，所述拉取裝置(100)包括底座(1)、承載件(2)、定位件(3)、抓取件(4)、第一電機(5)和第二電機(6)；

所述底座(1)和所述承載件(2)活動連接；

所述承載件(2)設置有第一承載部(21)和第二承載部(22)，所述第一承載部(21)和所述第二承載部(22)之間設置有導向桿(23)；所述定位件(3)套設于所述導向桿(23)上；

所述抓取件(4)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿過所述第一承載部(21)和所述第二承載部(22)之間形成的開口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；所述第二電機(6)固定于所述定位件(3)并與所述抓取件(4)的所述另一端連接，以控制所述抓取件(4)對所述石英套管進行抓取；

所述第一承載部(21)的外側壁設置有第一轉動輪(71)，所述第二承載部(22)的外側壁設置有第二轉動輪(72)，所述第一轉動輪(71)和所述第二轉動輪(72)上繞設有傳送帶(73)，所述傳送帶(73)與所述定位件(3)的結合部(31)固定連接；

所述第一電機(5)設置于所述第一承載部(21)，并與所述第一轉動輪(71)連接，以控制所述第一轉動輪(71)轉動從而帶動所述傳送帶(73)運動，所述傳送帶(73)通過所述結合部(31)帶動所述定位件(3)沿著所述導向桿(23)運動。

2.根據權利要求1所述的拉取裝置(100)，其特征在于，所述抓取件(4)包括連接桿(41)、第一固定板(42)和第二固定板(43)；

所述連接桿(41)的一端固定于所述定位件(3)、另一端穿過所述開口(24)并朝所述底座(1)的方向延伸；

所述第一固定板(42)固定于所述連接桿(41)的所述另一端；

所述第二固定板(43)套設于所述連接桿(41)，并與所述第二電機(6)連接。

3.根據權利要求2所述的拉取裝置(100)，其特征在于，所述第二電機(6)包括電機箱(61)和升降杠(62)；

所述電機箱(61)固定于所述定位件(3)的容納腔體(32)內；

所述升降杠(62)的一端與所述電機箱(61)固定連接、另一端依次穿過所述開口(24)和所述第二固定板(43)并固定于所述第一固定板(42)，所述升降杠(62)與所述連接桿(41)平行。

4.根據權利要求2所述的拉取裝置(100)，其特征在于，所述第一固定板(42)的第一表面固定有第一夾持件(421)，所述第二固定板(43)與所述第一表面相對的第二表面固定有第二夾持件(431)；所述第一夾持件(421)和所述第二夾持件(431)為中部凹陷且邊沿凸起的板狀結構。

5.根據權利要求1所述的拉取裝置(100)，其特征在于，所述第一承載部(21)的外側壁開設有連接孔，所述第一電機(5)的轉軸穿過所述連接孔與所述第一轉動輪(71)固定連接。

6.根據權利要求1所述的拉取裝置(100)，其特征在于，所述底座(1)包括底板(11)和支腿(12)，所述支腿(12)與所述底板(11)固定連接并朝所述承載件(2)的方向延伸，所述支腿(12)包括具有插口(121)的插槽；所述承載件(2)的底壁設置有插桿(25)，所述插桿(25)通過所述插口(121)插入所述插槽。

7.根據權利要求6所述的拉取裝置(100)，其特征在于，所述拉取裝置還包括抵持件(8)；所述支腿(12)開設有抵持孔(122)；所述抵持件(8)部分穿過所述抵持孔(122)，并與插入所述插槽內的插桿(25)抵持，通過作用于所述抵持件(8)使得所述抵持件(8)和所述插槽內的插桿(25)抵持或分離。