[發明專利]一種柔性微波濾波器的制造方法

有效

• 申請號: 202010640641.9
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN111864331B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 王志亮;倉定勇;龔俊帥;張潔;陳旭;張振娟;邵海寶;鄧洪海
• 申請（專利權）人: 南通大學
• 主分類號: H01P11/00
• 分類號: H01P11/00;G01R31/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責任公司 32102
• 代理人: 范丹丹

1.一種柔性微波濾波器的制造方法，包括以下步驟：

(1)使用KOH溶液對聚酰亞胺薄膜進行表面改性；

(2)使用Ag(NH₃)₂OH溶液實現對步驟(1)得到的聚酰亞胺薄膜表面進行離子交換；

(3)在步驟(2)得到的聚酰亞胺表面噴墨打印所需的柔性微波濾波器的圖形；

(4)通過H₂O₂溶液對步驟(3)得到的聚酰亞胺表面進行還原處理；

(5)對步驟(4)得到的聚酰亞胺薄膜進行清洗；

該方法中存在如下三個工藝參數：

(I)KOH溶液處理時間對電阻率的影響；

(II)Ag(NH₃)₂OH溶液處理時間對電阻率的影響；

(III)H₂O₂溶液處理時間對電阻率的影響；

所述電阻率是指柔性微波濾波器的金屬層的電阻率；

為了快速得到所述三個工藝參數的最佳值，采用滴漏裝置，使得各步驟中的容器中的溶液的液面以恒定的速度下降，將聚酰亞胺薄膜豎直放置于容器中，溶液開始滴漏時，計時器計時；溶液滴漏完時，計時器停止計時，得到整個反應過程的耗時；

在滴漏裝置以恒定的速度滴下溶液時，容器中的溶液的液面高度也將以恒定的速度下降，由此帶來的結果是，聚酰亞胺薄膜的不同高度處各自所受溶液的作用時間與相應的高度成線性關系；

由于容器中的溶液的液面高度以恒定的速度下降，聚酰亞胺薄膜的離初始液面的不同高度即線性地代表了溶液處理時間，最終測量聚酰亞胺薄膜的不同高度處的電阻率，即對應得到KOH溶液、Ag(NH₃)₂OH溶液、H₂O₂溶液的處理時間分別對電阻率的影響。

2.如權利要求1所述的柔性微波濾波器的制造方法，其特征在于：在不同的試驗階段，容器中的分別放入KOH溶液、Ag(NH₃)₂OH溶液、H₂O₂溶液，更換之前，將容器清洗干凈；或，準備三套完全相同的試驗裝置，三套試驗裝置的容器中分別放入KOH溶液、Ag(NH₃)₂OH溶液、H₂O₂溶液，聚酰亞胺薄膜在三個容器間轉移。

3.如權利要求1所述的柔性微波濾波器的制造方法，其特征在于：將聚酰亞胺薄膜緊貼、無褶皺地固定于耐腐蝕的長條形板材上，聚酰亞胺薄膜連同耐腐蝕的長條形板材一起放置于容器中，以使得聚酰亞胺薄膜的不同高度處所受溶液的作用的時間存在精確的線性關系。

4.一種試驗裝置，用于實現權利要求1所述的方法，其特征在于：試驗裝置包括有：盛放有化學溶液的容器固定放置在機架上，容器的底部受底部橫板的支撐；在容器中盛放溶液，容器底部設置有泄放管路，泄放管路上設置有滴漏裝置，所述滴漏裝置能夠以預設的恒定的速度滴下溶液；滴漏裝置下方設置有廢液接收器。

5.如權利要求4所述的試驗裝置，其特征在于：所述容器為不同高度處始終保持水平截面積恒定的容器。