[發(fā)明專利]一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備及方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010640326.6 | 申請日: | 2020-07-06 |
| 公開(公告)號: | CN111785654A | 公開(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 宋加;朱顯超 | 申請(專利權(quán))人: | 昆山樂邦印刷器材設(shè)備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66;H01L21/67;H01L31/18;G01B11/26 |
| 代理公司: | 蘇州瞪羚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32438 | 代理人: | 周治宇 |
| 地址: | 215300 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 絲網(wǎng) 直線 視覺 檢測 糾偏 微調(diào) 設(shè)備 方法 | ||
1.一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備包括:
機(jī)架;
夾持糾偏裝置,所述夾持糾偏裝置包括設(shè)置于所述機(jī)架頂部四側(cè)邊緣的四套精密夾具,所述精密夾具包括沿所述機(jī)架的側(cè)邊緣并排設(shè)置的多個分體夾頭,所述精密夾具通過多個所述分體夾頭能夠夾持絲網(wǎng)的一側(cè)邊緣,所述夾持糾偏裝置通過四套所述精密夾具能夠?qū)⑺鼋z網(wǎng)夾持支撐于所述機(jī)架頂部,并能夠沿所述絲網(wǎng)的經(jīng)向和緯向拉伸所述絲網(wǎng),且多個所述分體夾頭能夠相對獨立地沿所述精密夾具的拉伸方向伸縮運動;
視覺檢測裝置,所述視覺檢測裝置設(shè)置于所述機(jī)架頂部,并能相對于所述機(jī)架平移運動,所述視覺檢測裝置用于掃描檢測所述絲網(wǎng)的網(wǎng)格圖像;以及
控制裝置,所述控制裝置與所述夾持糾偏裝置和所述視覺檢測裝置連接,所述控制裝置能夠分析所述絲網(wǎng)的網(wǎng)格圖像以確定所述絲網(wǎng)的直線度誤差,并能控制所述精密夾具的所述分體夾頭運動以調(diào)整所述絲網(wǎng)的直線度。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述分體夾頭能夠夾持所述絲網(wǎng)側(cè)邊緣的一段,以夾持所述絲網(wǎng)的多根網(wǎng)絲的端部;夾持所述絲網(wǎng)的經(jīng)向或緯向網(wǎng)絲的所述分體夾頭運動,能夠?qū)?yīng)調(diào)整所述絲網(wǎng)的緯向或經(jīng)向網(wǎng)絲的直線度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述精密夾具還包括千分尺,多個所述千分尺對應(yīng)于多個所述分體夾頭設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述視覺檢測裝置包括支架和CCD攝像套件,所述支架跨裝于所述機(jī)架頂部,并能相對于所述機(jī)架沿垂直于所述支架跨裝方向的方向水平平移運動;所述CCD攝像套件設(shè)置于所述支架上,并能相對于所述支架沿所述支架的跨裝方向平移運動,從而將所述CCD攝像套件懸掛設(shè)置于所述機(jī)架頂部上方并能相對于所述機(jī)架平移運動。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述機(jī)架還包括平行于所述支架的平移運動方向設(shè)置于所述機(jī)架頂部相對兩側(cè)邊緣的線性導(dǎo)軌,所述支架滑動設(shè)置于所述線性導(dǎo)軌,以對所述支架的平移運動進(jìn)行導(dǎo)向限位。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述視覺檢測裝置還包括浮動接頭,所述支架通過所述浮動接頭連接支撐于所述機(jī)架頂部,所述浮動接頭使所述支架能夠相對于所述機(jī)架沿豎直方向升降浮動運動,以沿豎直方向調(diào)節(jié)所述CCD攝像套件與所述絲網(wǎng)之間的距離。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述CCD攝像套件的掃描檢測誤差≤2μm,重復(fù)精度≤2μm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項所述的一種絲網(wǎng)直線度視覺檢測糾偏微調(diào)設(shè)備,其特征在于,所述控制裝置包括輸入模塊、分析模塊和控制模塊,所述輸入模塊與所述視覺檢測裝置連接,所述輸入模塊用于輸入所述視覺檢測裝置掃描的所述絲網(wǎng)的網(wǎng)格圖像以及標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)格圖像和預(yù)設(shè)直線度誤差;所述分析模塊與所述輸入模塊連接,所述分析模塊用于將所述絲網(wǎng)的網(wǎng)格圖像與所述標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)格圖像比較分析,得到所述絲網(wǎng)的直線度誤差,所述分析模塊還用于將所述絲網(wǎng)的直線度誤差與所述預(yù)設(shè)直線度誤差比較分析,并標(biāo)記出所述絲網(wǎng)的大于所述預(yù)設(shè)直線度誤差的網(wǎng)絲;所述控制模塊與所述分析模塊和所述夾持糾偏裝置連接,所述控制模塊用于控制所述精密夾具的所述分體夾頭運動,以調(diào)整被標(biāo)記的所述網(wǎng)絲的直線度。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





