[發明專利]一種全固態形式的LiDAR傳感系統

在審

• 申請號: 202010639617.3
• 申請日: 2020-07-06
• 公開（公告）號: CN111812615A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 余崇圣;李夢;陳方圓;董子樂
• 申請（專利權）人: 重慶知至科技有限公司
• 主分類號: G01S7/481
• 分類號: G01S7/481;G01S17/93;G01S17/931
• 代理公司: 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411
• 代理人: 沈建華

1.一種全固態形式的LiDAR傳感系統，其特征在于：包括光束控制模塊、激光調制模塊、MEMS控制模塊、激光發射陣列控制模塊、激光發射陣列模塊、MEMS光束操縱傳感器、光探測器、信號放大模塊、信號處理與控制模塊和識別顯示模塊；所述光束控制模塊分別與所述激光調制模塊和所述MEMS控制模塊連接，所述激光調制模塊與所述MEMS控制模塊連接，所述MEMS控制模塊與所述MEMS光束操縱傳感器連接；所述光束控制模塊與所述激光發射陣列控制模塊連接，所述激光發射陣列控制模塊與所述激光發射陣列模塊連接，所述激光發射陣列模塊與所述MEMS光束操縱傳感器連接；所述光探測器與所述信號放大模塊連接，所述信號放大模塊與所述信號處理與控制模塊連接，所述信號處理與控制模塊與所述識別顯示模塊連接。

2.根據權利要求1所述的一種全固態形式的LiDAR傳感系統，其特征在于：所述信號放大模塊包括主放大器和前置放大器；所述光探測器與所述前置放大器連接，所述前置放大器與所述主放大器連接，所述主放大器與所述信號處理與控制模塊連接。

3.根據權利要求1所述的一種全固態形式的LiDAR傳感系統，其特征在于：所述MEMS光束操縱傳感器包括彈簧式MEMS懸臂結構、可調諧光柵和光耦合波導錐；所述彈簧式MEMS懸臂結構上設有MEMS梳狀驅動器；所述可調諧光柵的一端與所述MEMS梳狀驅動器連接，另一端與所述光耦合波導錐連接。

4.根據權利要求3所述的一種全固態形式的LiDAR傳感系統，其特征在于：所述彈簧式MEMS懸臂結構上設有MEMS懸浮式結構；所述MEMS懸浮式結構包括石墨烯層、二氧化硅層和硅層，所述二氧化硅層依附在在所述硅層上，所述石墨烯層依附在所述二氧化硅層上；對所述石墨烯層圖形化，使石墨烯層形成電極板；所述MEMS梳狀驅動器通過所述電極板對所述彈簧式MEMS懸臂結構進行拉伸。

5.根據權利要求4所述的一種全固態形式的LiDAR傳感系統，其特征在于：所述硅層厚度為220nm；所述二氧化硅層厚度為2um；所述石墨烯層厚度小于等于1nm。

6.根據權利要求1所述的一種全固態形式的LiDAR傳感系統，其特征在于：所述激光發射陣列模塊包括905nm、1550nm或垂直腔面發射激光器。