[發明專利]一種半導體芯片用可調式封裝裝置在審
| 申請號: | 202010635983.1 | 申請日: | 2020-07-03 |
| 公開(公告)號: | CN111739825A | 公開(公告)日: | 2020-10-02 |
| 發明(設計)人: | 顧駿 | 申請(專利權)人: | 顧駿 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67;H01L21/687;H01L21/68 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 半導體 芯片 調式 封裝 裝置 | ||
本發明公開了一種半導體芯片用可調式封裝裝置,屬于半導體芯片加工技術領域,解決了現有裝置不能對不同尺寸的芯片進行夾持,導致芯片在封裝時容易脫落的問題;其技術特征是:包括底座和固定座,底座上固定安裝有固定座,固定座的左側固定安裝有調節座,調節座內設有調節組件,調節組件連接有下夾持組件,底座上設有上夾持組件;本發明實施例設置了上夾持組件和下夾持組件,上夾持組件和下夾持組件配合工作實現了對芯片位置的固定,利于芯片的封裝工作,同時側夾板的設置進一步實現了芯片定位的精準性。
技術領域
本發明涉及半導體芯片加工技術領域,尤其涉及一種半導體芯片用可調式封裝裝置。
背景技術
在半導體封裝領域中,需要將半導體芯片通過結合材料粘附在對應的框架上,以實現半導體芯片的封裝固定。然而,在半導體芯片粘附過程中,在結合材料中以及結合材料的粘合界面上容易產生氣泡。氣泡的存在,在半導體芯片工作時會受熱膨脹,進而對半導體芯片產生一定的壓力,影響半導體芯片的性能。
中國專利CN209374443U公開了一種芯片封裝結構和封裝方法,包括:底面相對貼合的第一芯片和第二芯片;多個導電柱,分布在第一芯片周圍;引線,連接在第二芯片正面和金屬端子的第一面之間;封裝層,包封第一芯片、第二芯片、引線、導電柱,具有第一表面及與第一表面相對立的第二表面,第一表面暴露第一芯片的正面和導電柱的第二面,第二表面暴露第二芯片正面的預設區域,但是該裝置不能對不同尺寸的芯片進行夾持,導致芯片在封裝時容易脫落,因此,我們提出一種半導體芯片用可調式封裝裝置。
發明內容
本發明的目的在于提供一種半導體芯片用可調式封裝裝置,包括底座和固定座,底座上固定安裝有固定座,固定座的左側固定安裝有調節座,調節座內設有調節組件,調節組件連接有下夾持組件,底座上設有上夾持組件,以解決現有裝置不能對不同尺寸的芯片進行夾持,導致芯片在封裝時容易脫落的問題。
為實現上述目的,本發明提供如下技術方案:
一種半導體芯片用可調式封裝裝置,包括底座和固定座,底座上固定安裝有固定座,固定座的左側固定安裝有調節座,調節座內設有調節組件,調節組件連接有下夾持組件,底座上設有上夾持組件。
作為本發明進一步的方案:下夾持組件包括第一轉輪、第一螺桿和第一螺紋塊,第一螺桿的下端通過軸承與調節座轉動連接,第一螺桿的上端貫穿調節座的上壁,并且固定連接有第一轉輪,第一螺桿上套設有第一螺紋塊,第一螺桿和第一螺紋塊之間通過螺紋連接,第一螺紋塊的一側通過螺栓固定連接有升降座。
作為本發明再進一步的方案:升降座上設有用于夾持芯片的下夾持板,下夾持板內設有多個緩沖組件,緩沖組件在下夾持板上呈矩陣分布。
作為本發明再進一步的方案:緩沖組件包括緩沖板和緩沖腔,緩沖腔通過螺栓與下夾持板固定連接,緩沖腔內安裝有緩沖板,緩沖板和緩沖腔之間滑動連接,緩沖板的底部固定安裝有定位板,緩沖腔內對稱設有兩個定位桿,定位桿和定位板滑動連接,定位桿上還套設有用于保護定位板的緩沖彈簧。
作為本發明再進一步的方案:上夾持組件包括第二轉輪、第二螺桿和第二螺紋塊,第二螺桿的下端通過軸承與固定座的下壁轉動連接,第二螺桿的上端貫穿固定座的上壁,并且固定連接有第二轉輪,第二螺桿的外部套設有第二螺紋塊,第二螺桿和第二螺紋塊之間通過螺紋連接,第二螺紋塊的一側固定連接有上夾持板,上夾持板采用彈性體材質制得。
作為本發明再進一步的方案:第二螺桿的中部固定安裝有第一錐齒輪,第一錐齒輪的后側設有第二錐齒輪,第一錐齒輪和第二錐齒輪嚙合傳動,第二錐齒輪的固定連接有第三螺桿,第三螺桿和固定座轉動連接,第三螺桿上套設有第三內螺紋套筒,且第三螺桿和第三內螺紋套筒之間通過螺紋連接。
作為本發明再進一步的方案:第三內螺紋套筒固定連接有夾持基座,夾持基座上固定安裝有液壓缸,液壓缸的伸縮端固定連接有側夾板。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





