[發(fā)明專利]樣本提取部及包括樣本提取部的殘留溶劑測(cè)量裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010635567.1
• 申請(qǐng)日: 2020-07-03
• 公開（公告）號(hào): CN112179999A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尹大建;李東和;崔在镕;孫尚郁
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 細(xì)美事有限公司
• 主分類號(hào): G01N30/02
• 分類號(hào): G01N30/02;G01N30/72
• 代理公司: 北京鍾維聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11579
• 代理人: 羅銀燕

1.一種樣本提取部，在基板上移動(dòng)并用于提取固化的樣本，其特征在于，包括：

涂敷單元，在上述基板上涂敷用于對(duì)在基板上固化的樣本進(jìn)行溶解的化學(xué)液體；以及

回收單元，用于在上述基板上回收溶解有上述樣本的化學(xué)液體。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣本提取部，其特征在于，

還包括化學(xué)液體循環(huán)管道，使上述涂敷單元與上述回收單元之間相連接，

上述涂敷單元通過上述化學(xué)液體循環(huán)管道來從上述回收單元獲取溶解有上述樣本的化學(xué)液體，在上述基板上涂敷溶解有上述樣本的化學(xué)液體。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣本提取部，其特征在于，

上述回收單元包括與上述化學(xué)液體回收管道相連接并用于回收溶解有上述樣本的化學(xué)液體的化學(xué)液體回收泵，

上述涂敷單元包括用于在上述基板上涂敷溶解有上述樣本的化學(xué)液體的化學(xué)液體排出泵，

上述化學(xué)液體回收泵向上述涂敷單元的化學(xué)液體排出泵供給溶解有上述樣本的化學(xué)液體，直到完成樣本提取為止。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣本提取部，其特征在于，

包括第一化學(xué)液體循環(huán)管道閥，用于選擇性地阻隔從上述化學(xué)液體回收泵向上述化學(xué)液體排出泵供給溶解有樣本的化學(xué)液體，

若上述化學(xué)液體回收泵回收溶解有上述樣本的化學(xué)液體，則上述第一化學(xué)液體循環(huán)管道閥被打開，若完成上述樣本的采集，則上述第一化學(xué)液體循環(huán)管道閥被關(guān)閉。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣本提取部，其特征在于，

在上述化學(xué)液體排出泵設(shè)置有用于選擇性地阻隔通過上述化學(xué)液體排出管道排出的化學(xué)液體的化學(xué)液體排出管道閥，

上述化學(xué)液體排出管道閥在提取樣本期間被打開，若完成樣本提取則被關(guān)閉。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的樣本提取部，其特征在于，

上述涂敷單元與供給化學(xué)液體的化學(xué)液體供給管道相連接，

在上述涂敷單元設(shè)置有選擇性地阻隔通過上述化學(xué)液體供給管道供給的化學(xué)液體的化學(xué)液體供給管道閥，

若上述涂敷單元通過上述化學(xué)液體循環(huán)管道獲取溶解有上述樣本的化學(xué)液體，則上述化學(xué)液體供給管道閥被關(guān)閉或略微被打開。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣本提取部，其特征在于，

在上述回收單元設(shè)置有化學(xué)液體輸出管道，上述化學(xué)液體輸出管道與用于對(duì)殘留溶劑的成分進(jìn)行分析的成分分析部相連接，

在上述回收單元設(shè)置有化學(xué)液體輸出管道閥，上述化學(xué)液體輸出管道閥用于選擇性地阻隔向上述成分分析部供給溶解有上述樣本的化學(xué)液體，

上述化學(xué)液體輸出管道閥保持關(guān)閉狀態(tài)，直到完成樣本回收為止。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的樣本提取部，其特征在于，向上述成分分析部輸出的溶解有樣本的化學(xué)液體呈濃縮狀態(tài)。

9.根據(jù)權(quán)利要求3所述的樣本提取部，其特征在于，

在上述化學(xué)液體回收泵設(shè)置有用于選擇性地阻隔供給溶解有上述樣本的化學(xué)液體的第二化學(xué)液體循環(huán)管道閥，

若上述化學(xué)液體回收泵回收溶解有樣本的化學(xué)液體，則上述第二化學(xué)液體循環(huán)管道閥被打開。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的樣本提取部，其特征在于，上述涂敷單元及上述回收單元以彼此相鄰的方式配置。

11.一種殘留溶劑測(cè)量裝置，其特征在于，包括：

樣本提取部，用于提取基板上的樣本；以及

成分分析部，用于分析所提取的上述樣本的成分，

上述樣本提取部包括：

涂敷單元，在上述基板上涂敷用于對(duì)在基板上固化的樣本進(jìn)行溶解的化學(xué)液體；以及

回收單元，用于在上述基板上回收溶解有上述樣本的化學(xué)液體。