[發明專利]一種晶圓立式旋轉電鍍治具及電鍍裝置

在審

• 申請號: 202010634650.7
• 申請日: 2020-07-02
• 公開（公告）號: CN111705355A
• 公開（公告）日: 2020-09-25
• 發明（設計）人: 何志剛
• 申請（專利權）人: 上海戴豐科技有限公司
• 主分類號: C25D17/06
• 分類號: C25D17/06;C25D21/10;C25D7/12
• 代理公司: 蘇州所術專利商標代理事務所(普通合伙) 32473
• 代理人: 孫兵

1.一種晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，包括豎直設置的第一板體、第二板體、轉環、壓板以及帶動所述轉環轉動的傳動機構，所述第一板體或者第二板體上設有用于與電源陰極相連接的電源接頭，所述轉環上設有環形陰極電極片，所述環形陰極電極片通過導線與所述電源接頭電連接，還包括一線盤，所述導線繞制在所述線盤上，還包括促使線盤收線回轉的復位機構；所述傳動機構包括設置在所述轉環上的第一傳動齒形部以及與所述第一傳動齒形部相嚙合的第一傳動齒輪。

2.根據權利要求1所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，所述導線兩端采用焊接或螺釘固定式連接方式分別與所述環形陰極電極片和電源接頭電連接。

3.根據權利要求2所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，所述導線外周具有絕緣層。

4.根據權利要求3所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，所述轉環上設有用于規制導線的環形線槽。

5.根據權利要求1所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，所述復位機構為回卷彈簧。

6.根據權利要求1所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，所述復位機構包括與第一傳動齒輪相嚙合的第二傳動齒輪，所述線盤的線槽側向外周設有第二傳動齒形部，所述第二傳動齒輪內圈安裝有單向軸承，所述線盤的內圈安裝有扭力限制器。

7.根據權利要求1所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，其特征在于，所述轉環一側面與第一板體之間設有第一密封圈，所述轉環另一側面與第二板體之間設有第二密封圈。

8.一種電鍍裝置，其特征在于，包括電鍍池、驅動機構和如權利要求1-7任一所述的晶圓立式旋轉電鍍治具，所述電鍍池內設置有與晶圓相對的陽極電極，晶圓立式旋轉電鍍治具的電源接頭連接到電源的陰極，所述驅動機構的轉軸上設有驅動齒，所述晶圓立式旋轉電鍍治具的第一傳動齒輪與所述驅動齒嚙合。