[發(fā)明專利]一種高頻高耦合系數(shù)壓電薄膜體聲波諧振器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010632731.3
• 申請(qǐng)日: 2020-07-02
• 公開（公告）號(hào): CN111697943B
• 公開（公告）日: 2023-09-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鮑景富;吳兆輝;梁起;李亞偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 電子科技大學(xué)
• 主分類號(hào): H03H9/17
• 分類號(hào): H03H9/17
• 代理公司: 電子科技大學(xué)專利中心 51203
• 代理人: 甘茂

1.一種高頻高耦合系數(shù)壓電薄膜體聲波諧振器，包括：硅基襯底（1），以及硅基襯底上依次層疊設(shè)置的底層質(zhì)量加載薄膜（2）、壓電薄膜（3）及叉指換能器；其特征在于，所述叉指換能器的相鄰電極指條之間均設(shè)置有頂層?xùn)艞l狀質(zhì)量塊（7），所述頂層?xùn)艞l狀質(zhì)量塊的長(zhǎng)邊與電極指條平行、且與相鄰電極指條保持相同間距，所述頂層?xùn)艞l狀質(zhì)量塊的短邊與電極指條的懸空端平齊；所述底層質(zhì)量加載薄膜通過(guò)刻蝕形成底層?xùn)艞l狀質(zhì)量塊（9），所述底層?xùn)艞l狀質(zhì)量塊（9）與頂層?xùn)艞l狀質(zhì)量塊（7）上下對(duì)稱。

2.按權(quán)利要求1所述高頻高耦合系數(shù)壓電薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述叉指換能器由輸入電極（5）與輸出電極（6）中心對(duì)稱形成，所述輸入電極與輸出電極的電極指條的長(zhǎng)度采用均等或漸變形式。

3.按權(quán)利要求1所述高頻高耦合系數(shù)壓電薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述叉指換能器中電極采用的金屬薄膜材料為鋁、金、銀、銅、鉬、鎢中的任意一種。

4.按權(quán)利要求1所述高頻高耦合系數(shù)壓電薄膜體聲波諧振器，其特征在于，質(zhì)量塊采用人工合成金剛石薄膜、立方氮化硼或摻碳氧化硅。

5.按權(quán)利要求1所述高頻高耦合系數(shù)壓電薄膜體聲波諧振器，其特征在于，所述壓電薄膜采用鈮酸鋰（LiNbO₃）或鉭酸鋰（LiTaO₃）材料，其切型選擇ZX-cut或128^oYX-cut晶圓。