[發明專利]一種檢驗裝置在審
| 申請號: | 202010631790.9 | 申請日: | 2020-07-03 |
| 公開(公告)號: | CN111785652A | 公開(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發明(設計)人: | 黃琳 | 申請(專利權)人: | 南通通富微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/66 | 分類號: | H01L21/66 |
| 代理公司: | 北京志霖恒遠知識產權代理事務所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 郭棟梁 |
| 地址: | 226017 江蘇省*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 檢驗 裝置 | ||
1.一種檢驗裝置,其特征在于,包括:
第一承載臺,用于放置待檢驗產品;
第二承載臺,用于設置盛放檢驗后產品的料盒;
檢驗臺,設置在所述第一承載臺和所述第二承載臺之間;
搬運裝置,所述搬運裝置將待檢驗的產品由所述第一承載臺搬運至所述檢驗臺,并將檢驗后的產品由所述檢驗臺搬運至設置在所述第二承載臺上的料盒內;
檢驗裝置,設置在所述檢驗臺的上方,用于檢驗位于所述檢驗臺上的產品。
2.根據權利要求1所述的檢驗裝置,其特征在于,包括底座,所述檢驗臺為水平滑動設置在所述底座上,所述第一承載臺、第二承載臺與所述檢驗臺固定連接。
3.根據權利要求2所述的檢驗裝置,其特征在于,所述檢驗臺包括平行設置的兩個導軌,兩個所述導軌相對的側面上均水平設置有滑道,所述搬運裝置搬運產品由所述滑道內滑動,所述檢驗臺的滑動方向相交于產品在所述滑道內滑動的方向。
4.根據權利要求3所述的檢驗裝置,其特征在于,所述搬運裝置包括第一抓手,所述第一抓手可沿所述導軌的長度方向滑動,所述第一抓手包括位于其中一個所述導軌上方的第一爪,及位于其中一個所述導軌下方的第二爪,所述第一爪和第二爪均具有伸向兩個所述導軌之間的夾持部。
5.根據權利要求4所述的檢驗裝置,其特征在于,所述搬運裝置包括與所述導軌平行設置的第一導向件,所述第一導向件上滑動設置有第一滑動件;
所述第一爪和所述第二爪兩者之一與所述第一滑動件固定連接,所述第一爪和第二爪之間設置有第一動力裝置,所述第一動力裝置用于驅動所述第一爪或第二爪在豎直方向上運動。
6.根據權利要求5所述的檢驗裝置,其特征在于,還包括可在豎直方向運動的推料部,所述推料部具有伸向兩個所述導軌之間的推料端,所述推料部可沿產品在所述滑道內滑動的方向運動,用于將產品由所述檢驗臺推至位于所述第二承載臺上的料盒內,所述第二承載臺為可升降設置。
7.根據權利要求6所述的檢驗裝置,其特征在于,所述第一滑動件上固定連接有連接板,所述推料部與所述連接板之間設置有第二動力裝置,所述第二動力裝置可驅動所述推料部在豎直方向上運動。
8.根據權利要求3-7任一所述的檢驗裝置,其特征在于,所述第一承載臺為可升降設置,在所述承載臺遠離所述檢驗臺的一側設置有推料桿,所述推料桿可將所述第一承載臺上的產品推至所述滑道。
9.根據權利要求8所述的檢驗裝置,其特征在于,所述推料桿連接有調節組件,所述調節組件包括第二導向件、滑動設置在所述第二導向件上的第二滑動件,所述推料桿固設在所述第二滑動件上,所述第二導向件沿由所述第一承載臺至所述檢驗臺的方向設置。
10.根據權利要求8所述的檢驗裝置,其特征在于,所述第一承載臺、第二承載臺均包括與所述檢驗臺固接的支撐架,所述支撐架上豎直設置有第三導向件、滑動設置在所述第三導向件上的第三滑動件、第三動力裝置和水平設置的承載板,所述承載板與所述第二滑動件固接,所述第三動力裝置可驅動所述承載板沿所述第三導向件滑動。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





