[發明專利]壓電振動片、壓電振動器、以及它們的制造方法

在審

• 申請號: 202010630766.3
• 申請日: 2020-07-03
• 公開（公告）號: CN112187207A
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發明（設計）人: 市村直也;澀谷元規
• 申請（專利權）人: 精工電子水晶科技股份有限公司
• 主分類號: H03H3/02
• 分類號: H03H3/02;H03H3/04;H03H9/215
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 劉林華;陳浩然

1.一種安裝于在內側具備安裝部的封裝內的、由石英形成為音叉型的壓電振動片，其特征在于，具備：

基部；

從所述基部并列地延伸設置的一對振動臂部；

在所述一對振動臂部形成的兩個系統的電極；以及

頻率調整用的配重膜，其具有在所述振動臂部中的前端部由金屬形成的第一厚度部分、和傾斜部，所述傾斜部具備與所述第一厚度部分連續地在所述基部側和前端側中的至少一側形成的、厚度與所述第一厚度部分相比而逐漸變薄的傾斜面。

2.根據權利要求1所述的壓電振動片，其特征在于，所述傾斜部由朝向所述振動臂部的長度方向的傾斜面、以及朝向相對于所述長度方向傾斜的方向的傾斜面中的至少一個傾斜面構成。

3.根據權利要求1或權利要求2所述的壓電振動片，其特征在于，所述配重膜具備比所述第一厚度部分更薄地形成的第二厚度部分，所述傾斜部的一側與所述第一厚度部分連續，另一側與所述第二厚度部分連續。

4.根據權利要求1或權利要求2所述的壓電振動片，其特征在于，所述配重膜的傾斜部中，所述振動臂部的長度方向上的一側與所述第一厚度部分連續，另一側與所述振動臂部的主面抵接。

5.根據權利要求1至權利要求4中的任一項權利要求所述的壓電振動片，其特征在于，所述傾斜部在所述長度方向上的從所述一側到所述另一側之間，具備一個以上的傾斜的階梯部。

6.根據權利要求1至權利要求4中的任一項權利要求所述的壓電振動片，其特征在于，所述傾斜面方向上的所述傾斜部的長度為形成所述傾斜部的激光的光點直徑的一半以上。

7.根據權利要求1至權利要求6中的任一項權利要求所述的壓電振動片，其特征在于，所述配重膜形成在所述振動臂部中的前端部的至少一個主面。

8.根據權利要求1至權利要求7中的任一項權利要求所述的壓電振動片，其特征在于，所述配重膜的傾斜部形成在所述前端側。

9.根據權利要求1至權利要求8中的任一項權利要求所述的壓電振動片，其特征在于，是利用從所述基部向所述振動臂部的外側延伸而形成的支撐臂部安裝于所述安裝部的側臂型、利用從所述基部延伸到所述振動臂部之間而形成的支撐單臂部安裝于所述安裝部的中心臂型、或者所述基部安裝于所述安裝部的懸臂型。

10.一種壓電振動器，其特征在于，具有：

在內側具備安裝部的封裝；

安裝于所述安裝部的、根據權利要求1至權利要求9中的任一項權利要求所述的壓電振動片；以及

從所述安裝部直到所述封裝的外部而形成的外部電極部。

11.一種壓電振動片的制造方法，其特征在于，具備：

外形形成工序，形成音叉型壓電振動片的外形，所述音叉型壓電振動片至少具有基部和從所述基部并列地延伸設置的一對振動臂部；

電極形成工序，在所述振動臂部形成兩個系統的電極；

配重膜形成工序，在所述振動臂部的前端側的主面形成頻率調整用的配重膜；以及

頻率調整工序，通過除去所述配重膜，在至少一部分形成具備厚度逐漸變薄的傾斜面的傾斜部，從而調整頻率。

12.根據權利要求11所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，所述頻率調整工序通過非熱加工而除去所述配重膜的一部分。

13.根據權利要求12所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，所述頻率調整工序直接照射使所述配重膜的除去為非熱加工的脈沖寬度的非熱加工激光。

14.根據權利要求13所述的壓電振動片的制造方法，其特征在于，所述非熱加工激光是脈沖寬度為2位以下的皮秒激光或飛秒激光。