[發(fā)明專利]一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置

在審

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• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN111650237A
• 公開（公告）日: 2020-09-11
• 發(fā)明（設計）人: 秦元斌;張朋誠;解德剛;付琴琴;單智偉;劉南君
• 申請（專利權）人: 西安交通大學
• 主分類號: G01N25/16
• 分類號: G01N25/16
• 代理公司: 西安智大知識產權代理事務所 61215
• 代理人: 王晶

1.一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置，其特征在于，包括下加熱臺(1)與上加熱臺(2)，所述的下加熱臺(1)上表面設置有硅片(6)，硅片(6)的正中心上表面放置有樣品(3)，位于硅片(6)上表面樣品(3)外側設置有支撐物體(4)，所述的支撐物體(4)頂部設置上加熱臺(2)，位于樣品3上方的上加熱臺2之間留有空隙，為鏤空結構，穿過空隙設置有壓頭5，所述的壓頭5位于樣品3上方。

2.根據權利要求1所述的一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置，其特征在于，所述的支撐物體(4)大于樣品(3)膨脹后的高度。

3.根據權利要求1所述的一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置，其特征在于，所述的支撐物體(4)與樣品(3)之間的距離大于支撐物體(4)和樣品(3)水平膨脹量之和。

4.根據權利要求1所述的一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置，其特征在于，所述的支撐物體(4)和硅片(6)的總高度應小于4mm。

5.根據權利要求1所述的一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置，其特征在于，所述的樣品(3)為楔形結構或臺階狀結構。

6.根據權利要求1所述的一種利用納米力學測試儀測試微小試樣熱膨脹系數的裝置，其特征在于，所述的硅片(6)與樣品(3)之間通過高溫膠固定。