[發(fā)明專利]樣品臺及電子顯微鏡

在審

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• 申請日: 2020-07-01
• 公開（公告）號: CN111725041A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫烈;吳世磊;關(guān)曉武;李昕
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學院自然科學史研究所
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26
• 代理公司: 北京路浩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 李文麗

本發(fā)明涉及顯微鏡配件技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種樣品臺及電子顯微鏡。該樣品臺，包括：底座、彈性圈和定位銷，底座構(gòu)造有多個貫通的樣品孔，用于放置待測樣品，在樣品孔內(nèi)構(gòu)造有延伸至底座周側(cè)邊緣的定位孔，定位銷能夠插入定位孔中，彈性圈套設(shè)于底座和定位銷的周側(cè)并勒緊，以驅(qū)使定位銷由定位孔向樣品孔內(nèi)移動進而壓緊待測樣品。該電子顯微鏡包括本發(fā)明的樣品臺。本發(fā)明采用了彈性圈和定位銷的固定方式取代了螺栓緊固和膠粘的固定方式，結(jié)構(gòu)簡單，安放和取下待測樣品操作簡便，耗時短，效率高，節(jié)省成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯微鏡配件技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種樣品臺及電子顯微鏡。

背景技術(shù)

電子顯微鏡是一種利用電子束及其激發(fā)的多種電子信號獲取樣品表面形貌、組分及結(jié)構(gòu)等信息的電子光學儀器。對于較小的塊狀樣品，尤其是需要準確測量化學組分時，一般先用樹脂包埋為柱狀體，常見形狀為圓柱體，偶爾用四棱柱體，然后將包埋塊的截面打磨拋光并噴鍍導電層。電子顯微鏡樣品臺是承載、固定待測樣品的裝置，通常由具有良好導電性的固體材料制成。

電子顯微鏡工作時，其樣品倉需保持在一定的真空度范圍。為了減少因多次抽、泄真空導致耗時較多，多采用將數(shù)個待測樣品置于同一樣品臺之上，同時放入樣品倉。而經(jīng)磨拋處理后的柱狀樣品或樹脂塊普遍存在高度不一致、兩個下端面不平行等問題，且待測樣品一般是通過螺栓緊固件或膠粘的方式固定在樣品臺上：采用螺栓緊固的方式安裝和取下樣品操作繁瑣，耗時長，效率低；采用膠粘的方式不易剝離且容易在樣品臺上殘留膠質(zhì)。

發(fā)明內(nèi)容

(一)要解決的技術(shù)問題

本發(fā)明實施例的目的是提供一種樣品臺及電子顯微鏡，以解決現(xiàn)有技術(shù)中樣品臺采用螺栓緊固或膠粘的固定方式存在的樣品安裝取下操作繁瑣，耗時長，效率低的技術(shù)問題。

(二)技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明實施例提供一種樣品臺，包括：底座、彈性圈和定位銷，所述底座構(gòu)造有多個貫通的樣品孔，用于放置待測樣品，在所述樣品孔內(nèi)構(gòu)造有延伸至所述底座周側(cè)邊緣的定位孔，所述定位銷能夠插入所述定位孔中，所述彈性圈套設(shè)于所述底座和所述定位銷的周側(cè)并勒緊，以驅(qū)使所述定位銷由所述定位孔向所述樣品孔內(nèi)移動進而壓緊所述待測樣品。

其中，還包括凸臺，所述凸臺設(shè)置于所述樣品孔內(nèi)，且與所述底座的上端面平齊。

其中，所述凸臺的承接面分別與所述底座的上端面和所述底座的下端面平行。

其中，所述樣品孔為圓弧形孔，所述凸臺圍繞所述樣品孔內(nèi)側(cè)連續(xù)設(shè)置。

其中，還包括位置標記，所述位置標記設(shè)置于所述底座的上端面上，且所述位置標記與所述樣品孔一一對應(yīng)設(shè)置。

其中，所述樣品孔的個數(shù)為2-6個，且沿所述底座的圓周方向間隔均勻設(shè)置。

其中，所述樣品孔的延伸方向與所述底座的上端面和下端面垂直。

其中，所述彈性圈為具有彈性的緊固條。

本發(fā)明實施例還公開了一種電子顯微鏡，包括如本發(fā)明實施例的樣品臺。

(三)有益效果

本發(fā)明實施例提供的一種樣品臺及電子顯微鏡，將待測樣品放入到樣品孔中，通過彈性圈給定位銷一個壓緊待測樣品的力，將待測樣品安裝于樣品臺上，本發(fā)明采用了彈性圈和定位銷的固定方式取代了螺栓緊固和膠粘的固定方式，結(jié)構(gòu)簡單，安放和取下待測樣品操作簡便，耗時短，效率高，節(jié)省成本。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實施例的樣品臺的正面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明實施例的樣品臺的背面結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明實施例的樣品臺的裝配示意圖。