[發(fā)明專利]一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010627105.5 | 申請日： | 2020-07-02 |
| 公開（公告）號： | CN111707395A | 公開（公告）日： | 2020-09-25 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 吳迅奇;李偉偉 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海拜安傳感技術(shù)有限公司 |
| 主分類號： | G01L1/04 | 分類號： | G01L1/04;G01L5/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 201200 上海市浦東新區(qū)中國*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 懸臂梁 光學(xué) mems 壓力傳感器 | ||
1.一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，包括懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）和傳感器防護(hù)殼（2），其特征在于，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）的上方設(shè)有由兩個受電弓碳滑板托架（6）組成U型托架，懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）梁臂和底座之間有一定的縫隙，縫隙在靠近懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）根部位置一直到U型托架之前是1mm，從U型托架到遠(yuǎn)離懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）根部的位置的縫隙保持1.5mm，懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）上還安裝有MEMS光學(xué)壓力敏感芯片（3），傳感器防護(hù)殼2通過螺釘固定在懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）上，其位置位于MEMS光學(xué)壓力敏感芯片（3）上方，MEMS光學(xué)壓力敏感芯片（3）上連接有導(dǎo)波光纖（10），MEMS光學(xué)壓力敏感芯片（3）有兩個，兩個MEMS壓力敏感芯片（3）通過正交黏貼的方式布置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）上還設(shè)有板簧固定孔位（5）。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）上還設(shè)有四個用于固定螺絲的限位孔（4）。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述傳感器防護(hù)殼（2）上設(shè)有懸臂梁結(jié)構(gòu)固定孔位（9）。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）和傳感器防護(hù)殼（2）之間的縫隙用泡棉進(jìn)行封堵。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述受電弓碳滑板托架（6）上設(shè)有碳滑板固定孔位（7）。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）上設(shè)有傳感器防護(hù)殼固定孔位（8），傳感器防護(hù)殼固定孔位（8）與懸臂梁結(jié)構(gòu)固定孔位（9）位置對應(yīng)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述懸臂梁結(jié)構(gòu)（1）根部的壓力敏感芯片（3）用溫度傳感芯片替代。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種懸臂梁式光學(xué)MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述MEMS壓力敏感芯片（3）和起溫度補(bǔ)償用的溫度傳感芯片用光纖光柵、光纖F-P腔或電子類應(yīng)變測量的敏感元件替代。
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