[發明專利]一種基于量子隧道效應的新型壓力傳感器在審
| 申請號： | 202010623956.2 | 申請日： | 2020-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN111693202A | 公開（公告）日： | 2020-09-22 |
| 發明（設計）人： | 郭文璟;夏志剛 | 申請（專利權）人： | 中國計量大學 |
| 主分類號： | G01L9/00 | 分類號： | G01L9/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 量子 隧道 效應 新型 壓力傳感器 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于量子隧道效應的新型壓力傳感器，包括外殼和微形變檢測裝置，其特征在于：所述外殼包括感壓膜片，上隔水罩和下隔水罩；所述微形變檢測裝置包括壓電步進馬達、馬達外框、壓電陶瓷、探針和參考樣品；
下隔水罩中央是感壓膜片，參考樣品固定在感壓膜片的中心位置，馬達外框沿感壓膜片中軸線方向固定在下隔水罩上，沿外框中軸線的方向安裝壓電步進馬達，壓電步進馬達下端固定壓電陶瓷和探針，探針針尖正對參考樣品，所述探針用于檢測針尖與參考樣品間的隧道電流。
2.根據權利要求1所述的一種基于量子隧道效應的新型壓力傳感器，所述感壓膜片受到外界壓力作用后發生微小形變，其特征在于：感壓膜片帶動固定在其上的參考樣品發生運動，從而引起參考樣品與針尖的距離發生微小變化，進而使得參考樣品與針尖間的隧道電流大小發生變化。
3.根據權利要求1或2所述的一種基于量子隧道效應的新型壓力傳感器，其特征在于：由隧道電流的變化可以檢測感壓膜片的微小形變，從而得到外界壓力的變化。
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