[發(fā)明專(zhuān)利]一種SiC晶圓拋光液及其制備方法和應(yīng)用

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202010620169.2
• 申請(qǐng)日: 2020-06-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111748287A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-10-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪為磊;劉衛(wèi)麗;霍軍朝;宋志棠;許永輝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;上海新安納電子科技有限公司;浙江新創(chuàng)納電子科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C09G1/02
• 分類(lèi)號(hào): C09G1/02;H01L21/306
• 代理公司: 上海泰能知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31233
• 代理人: 魏峯;黃志達(dá)

1.一種SiC晶圓拋光液，其特征在于：按重量百分比，包括如下組分：

液相載體 35-90％；

磨料顆粒 0.01-40％；

氧化劑 0.01-30％；

其中，所述磨料顆粒為α氧化鋁顆粒或者球形二氧化硅顆粒。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC晶圓拋光液，其特征在于：所述液相載體為水。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC晶圓拋光液，其特征在于：所述α氧化鋁顆粒形貌為蠕蟲(chóng)狀或片狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC晶圓拋光液，其特征在于：所述α氧化鋁顆粒的粒徑分布D50為0.3μm-1.5μm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC晶圓拋光液，其特征在于：所述球形二氧化硅顆粒的粒徑為4-150nm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種SiC晶圓拋光液，其特征在于：所述氧化劑選自NaClO、KMnO₄、K₂Cr₂O₇、雙氧水、NaClO₄、NaBrO₄、KHO₅、Na₂O₂、K₂O₂、MgO₂、CaO₂、BaO₂、NaNO₃、過(guò)醋酸、過(guò)甲酸、過(guò)氧化二枯基、過(guò)氧化苯甲酰、過(guò)氧化甲乙酮、過(guò)氧化環(huán)己酮、過(guò)氧化叔丁醇、過(guò)苯甲酸特丁酯中的一種或幾種。

7.一種如權(quán)利要求1所述的SiC晶圓拋光液的制備方法，包括如下步驟：

按配比將各組分混合，即得SiC晶圓拋光液。

8.一種如權(quán)利要求1所述的SiC晶圓拋光液的應(yīng)用。