[發明專利]一種集成散熱器的功率模塊及其制作方法在審
| 申請號: | 202010617478.4 | 申請日: | 2020-07-01 |
| 公開(公告)號: | CN111696936A | 公開(公告)日: | 2020-09-22 |
| 發明(設計)人: | 邱珍華;邱嘉龍;劉亞坤 | 申請(專利權)人: | 浙江天毅半導體科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L23/373 | 分類號: | H01L23/373;H01L23/367;H01L21/48;H01L21/52 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 312000 浙江省紹興*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 集成 散熱器 功率 模塊 及其 制作方法 | ||
1.一種集成散熱器的功率模塊包括:芯片(1),用于布置芯片(1)的DBC板(4)(覆銅陶瓷基板),上表面設有銅區(80)的散熱器(8),以及將芯片(1)、DBC板(4)封裝到散熱器(8)的封裝外殼(5);所述DBC板(4)(覆銅陶瓷基板)通過焊接或燒結等方式與散熱器(8)上表面的銅區(80)形成緊密的金屬連接,從而整體形成一個集成散熱器的功率模塊。
2.根據權利要求1所述的功率模塊,其特征在于:所述上表面設有銅區(80)的散熱器(8)可通過多種工藝制成,具體可為噴銅,嵌銅、鍍銅,從而實現在鋁制散熱器(8)上形成有一定厚度的銅區(80)。
3.根據權利要求1所述的一種集成散熱器的功率模塊,其特征在于:所述上表面設有銅區(80)的散熱器(8),銅區(80)面積比與之連接DBC板(4)的背面覆銅層(42)的面積大,從而實現較大的接觸面積。
4.根據權利要求1所述的一種集成散熱器的功率模塊,其特征在于:所述芯片(1)通過焊接或燒結方式連接在所述正面覆銅層(40)上,并通過引線(2)實現所述芯片(1)與所述正面覆銅(40)的互連。
5.根據權利要求1所述的一種集成散熱器的功率模塊,其特征在于:所述端子(6)一端連接至所述正面覆銅層(40)上,另一端引出至封裝外殼(5)的外部,以提供與外部電路的接口,所述封裝外殼(5)固定于所述散熱器(8)的上表面。
6.根據權利要求1所述的一種集成散熱器的功率模塊,其特征在于:所述封裝外殼(5)的內部填充有絕緣灌封膠,以實現所述功率模塊內部的電氣絕緣,并保護所述功率模塊(100)免受濕氣和污染侵蝕。
7.一種集成散熱器的功率模塊制作方法,其特征在于,包括以下步驟:
1)成型一上表面設有銅區(80)的散熱器8;
2)將芯片(1)及端子(6)連接在DBC板(4)的正面覆銅層(40);
3)通過引線(2)實現所述芯片(1)與正面覆銅層(40)之間的互連;
4)將所述DBC板(4)的背面覆銅層(42)連接散熱器(8)上表面的銅區(80);
5)將封裝外殼(5)安裝在所述散熱器(8)上;
6)在所述封裝外殼的(5)內部填充絕緣灌封膠,以實現所述功率模塊(100)內部的灌封保護。
8.根據權利要求7所述的一種集成散熱器的功率模塊制作方法,其特征在于:通過焊接或燒結連接方式將所述DBC板(4)的背面覆銅層(42)連接在散熱(8)器的銅區(80)。
9.根據權利要求7所述的一種集成散熱器的功率模塊制作方法,其特征在于:通過焊接或燒結連接方式將所述芯片(1)連接在所述DBC板(4)上。
10.根據權利要求7所述的一種集成散熱器的功率模塊制作方法,其特征在于:通過引線(2)鍵合方式實現上所述芯片(1)與所述DBC板(4)的正面覆銅層(40)之間的互連。
11.根據權利要求7所述的一種集成散熱器的功率模塊制作方法,其特征在于:通過焊料焊接或超聲焊接方式將所述端子(6)的引腳端與所述DBC板(4)的正面覆銅層(40)連接。
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