[發(fā)明專利]硼擴散方法、太陽能電池及其制作方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010617154.0
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111739794A
• 公開（公告）日: 2020-10-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊楠楠;金井升;張昕宇
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科綠能(上海)管理有限公司
• 主分類號: H01L21/225
• 分類號: H01L21/225;H01L31/18;H01L31/042
• 代理公司: 北京匯思誠業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11444
• 代理人: 肖麗

1.一種硼擴散方法，其特征在于，包括以下步驟：

將預(yù)處理后的N型硅片置于擴散爐內(nèi)，在第一溫度下進行第一次硼擴散沉積；

在第一次硼擴散沉積之后，使擴散爐內(nèi)的溫度從第一溫度升溫至第二溫度，進行推結(jié)；

在推結(jié)之后，使擴散爐內(nèi)的溫度從第二溫度降溫至第三溫度，在第三溫度下進行第二次硼擴散沉積。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硼擴散方法，其特征在于，所述第一溫度為800-900℃；

和/或，所述第三溫度為800-900℃。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的硼擴散方法，其特征在于，所述第一溫度為850-880℃；

和/或，所述第三溫度為850-880℃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的硼擴散方法，其特征在于，所述第二溫度分別高于第一溫度和第三溫度，且所述第二溫度＜950℃。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的硼擴散方法，其特征在于，所述第二溫度≤920℃。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的硼擴散方法，其特征在于，所述進行第一次硼擴散沉積包括：

往所述擴散爐內(nèi)通入氮氣、氧氣和硼源，進行第一次硼擴散沉積，沉積的時間為10-60min，氮氣的流量為10000-30000sccm，氧氣的流量為30-200sccm，硼源的流量為100-600sccm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的硼擴散方法，其特征在于，所述進行推結(jié)包括：

往所述擴散爐內(nèi)通入氧氣或包含氧氣和氮氣的混合氣體，進行推結(jié)，推結(jié)的時間為5-10min，氧氣或包含氧氣和氮氣的混合氣體的流量為10000-30000sccm。

8.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的硼擴散方法，其特征在于，所述進行第二次硼擴散沉積包括：

往所述擴散爐內(nèi)通入氮氣、氧氣和硼源，進行第二次硼擴散沉積，沉積的時間為10-60min，氮氣的流量為10000-30000sccm，氧氣的流量為30-300sccm，硼源的流量為100-900sccm。

9.一種太陽能電池的制作方法，包括硼擴散步驟、激光摻雜步驟、鈍化步驟和金屬化步驟，其特征在于，所述硼擴散步驟采用權(quán)利要求1-8任一項所述的硼擴散方法，利用所述硼擴散步驟形成硼的輕摻雜區(qū)，利用所述激光摻雜步驟形成硼的重摻雜區(qū)。

10.一種太陽能電池，其特征在于，所述太陽能電池采用權(quán)利要求9所述的太陽能電池的制作方法制作而成。