[發明專利]通過掃碼槍獲取加工參數的方法、裝置、設備、介質

在審

• 申請號: 202010615428.2
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN113869072A
• 公開（公告）日: 2021-12-31
• 發明（設計）人: 康寧;吳昊;李碩
• 申請（專利權）人: 沈陽芯源微電子設備股份有限公司
• 主分類號: G06K7/10
• 分類號: G06K7/10;G06K7/14
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標代理有限公司 21002
• 代理人: 許宗富

本發明公開了通過掃碼槍獲取加工參數的方法、裝置、設備、介質，包括：接收訂單用戶輸入的加工參數，生成加工工序；隨機生成識別碼圖像，將其與加工工序進行關聯映射生成工件加工文件，輸出工序加工文件以及識別碼圖像；掃碼槍掃描生成的識別碼圖像；獲取識別碼圖像關聯加工工序的工件加工文件，讀取掃碼槍掃描的識別碼圖像，在工件加工文件中查找與識別碼圖像所對應的加工工序，讀取加工參數并顯示在工控機中。本發明可使操作員不在手動選擇作業加工參數，減輕操作員工作，提升正確率，很大程度上避免了晶圓返工，報廢的情況出現。本發明可使條形碼與機臺內的配方根據客戶的意愿自由匹配，條形碼內容不受限制、使用靈活。

技術領域

本發明涉及掃碼槍在半導體行業中的應用，特別涉及實現條形碼與設備加工配方的自由匹配，以此來提高操作員在日常工作中的操作正確率。

背景技術

操作員在FAB中需要不停的“放置盒站——選擇加工參數——加工——檢測”，尤其是選擇加工參數一步，這其中包含晶圓的尺寸，晶圓的類型，加工配方等，選錯可能會導致整批晶圓返工，甚至報廢。因此，“如何減少操作員工作量”“如何提高操作員操作正確率”一直是用戶關注的重點和技術難題。

發明內容

為了解決上述存在的問題，本發明提出了一種通過掃碼槍獲取加工參數的方法、裝置、設備、介質。本發明中掃碼槍可以對識別碼進行識別，操作員加工前使用掃碼槍對識別碼進行掃描以獲取相關的加工工序和加工參數，便可極大程度的提高操作的正確性；同時，如果用戶能將條形碼內容自由的與加工設備的相關參數進行匹配可以生成用戶所需的加工工序，這又保證了使用的靈活性。

本發明為上述目的所采用的技術方案為：通過掃碼槍獲取加工參數的方法,包括以下步驟：

接收訂單用戶輸入的加工參數，組合生成加工工序；

隨機生成識別碼圖像，將其與加工工序進行關聯映射生成工件加工文件，輸出工序加工文件以及識別碼圖像；

掃碼槍掃描生成的識別碼圖像并輸出；

讀取掃碼槍掃描的識別碼圖像，獲取識別碼圖像關聯加工工序的工件加工文件，在工件加工文件中查找與識別碼圖像所對應的加工工序，提取加工參數并顯示加工狀態，從而避免加工過程中人為輸入加工參數的失誤以及提高效率。

還包括一個使能步驟，當使能開關關閉時執行生成加工工序和綁定識別碼圖像的步驟，當使能開關打開時執行通過掃碼槍掃描識別碼圖像再自動讀取加工工序及加工參數的步驟。

所述加工參數包括：晶圓尺寸、晶圓材質類型、配方工序順序。

所述識別碼為條形碼或二維碼。

所述輸出識別碼包括：打印紙質識別碼或輸出識別碼至顯示設備中。

所述掃碼槍掃描的識別碼是生產加工人員通過掃碼槍掃描獲取的。

通過掃碼槍獲取加工參數的裝置,包括用戶終端和生產終端；

所述用戶終端包括：接收用戶指令模塊和識別碼生成模塊；所述接收用戶指令模塊，接收訂單用戶輸入的加工參數，生成加工工序；識別碼生成模塊，隨機生成識別碼圖像，將其與加工工序進行關聯映射生成工件加工文件，輸出工序加工文件以及識別碼圖像；

生產終端包括：掃碼槍模塊和識別碼解析模塊；所述掃碼槍模塊，掃描識別碼生成模塊輸出的識別碼圖像并發送給識別碼解析模塊；識別碼解析模塊，提取識別碼圖像關聯加工工序的工件加工文件，讀取掃碼槍掃描的識別碼圖像，在工件加工文件中查找與識別碼圖像所對應的加工工序，讀取加工參數并顯示在工控機中。

所述掃碼槍與工控機之間通過RS232或USB接口進行連接。

通過掃碼槍獲取加工參數的設備,包括：

處理器，