[發明專利]三軸多級羅茨泵

有效

• 申請號: 202010614718.5
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111706509B
• 公開（公告）日: 2022-01-04
• 發明（設計）人: 榮易;戴堅
• 申請（專利權）人: 江蘇格里克真空技術有限公司
• 主分類號: F04C23/00
• 分類號: F04C23/00;F04C18/12;F04C29/04;F04C29/00
• 代理公司: 北京酷愛智慧知識產權代理有限公司 11514
• 代理人: 王靜

本發明涉及一種三軸多級羅茨泵，包括上泵殼和下泵殼；上泵殼的下端面開設有第一定位孔，下泵殼的上端面也開設有第一定位孔；下泵殼內從下泵殼的軸向一端至軸向另一端依次設有一級下隔斷、二級下隔斷、三級下隔斷、四級下隔斷和五級下隔斷；一級下隔斷的一側開設有一級轉子下容置槽，另一側開設有第一轉軸下容置槽；二級下隔斷的一側開設有二級轉子下容置槽，另一側開設有第三轉軸下容置槽；三級下隔斷的一側開設有三級轉子下容置槽，另一側開設有第一轉軸下容置槽；四級下隔斷的一側開設有四級轉子下容置槽，另一側開設有第三轉軸下容置槽；五級下隔斷的一側開設有五級轉子下容置槽，另一側開設有第一轉軸下容置槽。

技術領域

本發明涉及羅茨泵技術領域，具體涉及一種三軸多級羅茨泵。

背景技術

三軸多級羅茨泵是一種全新無油干式真空泵，每級泵腔內均設置有三根相互平行的轉軸，三根轉軸同速轉動且位于中部的第二轉軸(中泵軸)與位于其相鄰的兩側的第一轉軸(左泵軸)和第三轉軸(右泵軸)轉動的方向相反。每級泵腔內均設置有成對轉子，奇數級泵腔的成對轉子分別連接在第二轉軸和第一轉軸上，偶數級泵腔的成對轉子分別連接在第二轉軸和第三轉軸上，從而形成了獨特的氣流通道。這種獨特的結構，相比螺桿式、渦旋式、往復式等干式真空泵，具有抽氣能力大，容積效率高，功率低，不怕粉塵，不怕腐蝕，使用壽命長等優點。

現有的三軸多級羅茨泵包括多個泵殼、三根轉軸和多級轉子。每一個獨立的泵殼通過單獨鑄造可獲得完整的真空腔室，多個泵殼以模塊式的方式沿著軸向組裝形成多級羅茨泵。相鄰兩個泵殼之間設置隔板。首先，相鄰兩個泵殼之間雖然可以依靠定位銷來確保軸線共線，但是，在多級羅茨泵完成組裝后，累計誤差較大，常常會導致整體安裝失敗。即使將泵殼由5個減少至3個，累積誤差依然較大。其次，多級轉子和轉軸之間需要鍵來確定安裝后轉子的角度。即使轉子上的鍵和轉軸上的鍵的加工精度很高，加工誤差的累積依然可能會使轉子的角度產生偏差，從而導致在運行時出現碰擦現象。為了避免碰擦現象的出現，需要增大同一級的一對轉子之間的間隙，這就使得真空泵內間隙變大，從而使得抽氣效率下降，極限真空度受損。另外，相鄰兩級轉子之間需要有軸套，即使軸套的加工精度很高，也無法避免轉子和轉軸組裝后產生的累計誤差較大的問題，從而影響到真空度。累計誤差還使得三軸多級羅茨泵的組裝變得十分麻煩，往往需要整體拆卸后再重新組裝，嚴重制約組裝效率。

因此，如何降低組裝時的累計誤差是本領域亟待解決的技術問題。

發明內容

為解決組裝時的累計誤差較大的問題，本發明提供一種三軸多級羅茨泵。

為實現本發明目的提供的一種三軸多級羅茨泵，包括泵殼、設于泵殼內的多級羅茨轉子及三個轉軸，三個轉軸分別為第一轉軸、第二轉軸和第三轉軸，

泵殼包括上泵殼和下泵殼；上泵殼的下端面靠近軸向兩端分別開設有一個第一定位孔，相應的，下泵殼的上端面靠近軸向兩端也分別開設有一個第一定位孔；

下泵殼內從下泵殼的軸向一端至軸向另一端依次設有一級下隔斷、二級下隔斷、三級下隔斷、四級下隔斷和五級下隔斷；一級下隔斷、二級下隔斷、三級下隔斷、四級下隔斷和五級下隔斷均垂直于下泵殼的軸向設置，且厚度依次遞減；

一級下隔斷的一側開設有一級轉子下容置槽，另一側開設有第一轉軸下容置槽；二級下隔斷的一側開設有二級轉子下容置槽，另一側開設有第三轉軸下容置槽；三級下隔斷的一側開設有三級轉子下容置槽，另一側開設有第一轉軸下容置槽；四級下隔斷的一側開設有四級轉子下容置槽，另一側開設有第三轉軸下容置槽；五級下隔斷的一側開設有五級轉子下容置槽，另一側開設有第一轉軸下容置槽；

一級轉子下容置槽的底部開設有一級下過氣孔，二級轉子下容置槽的底部開設有二級下過氣孔，三級轉子下容置槽的底部開設有三級下過氣孔，四級轉子下容置槽的底部開設有四級下過氣孔，五級轉子下容置槽的底部開設有五級下過氣孔；