[發明專利]掩膜片和掩膜版

在審

• 申請號: 202010614323.5
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111809146A
• 公開（公告）日: 2020-10-23
• 發明（設計）人: 張丁成;王水俊;李偉麗;范波濤;孫飛
• 申請（專利權）人: 昆山國顯光電有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 北京華進京聯知識產權代理有限公司 11606
• 代理人: 方曉燕

本發明提供一種掩膜片，包括蒸鍍區和非蒸鍍區，所述蒸鍍區具有多個蒸鍍開口；所述非蒸鍍區與所述蒸鍍區鄰接設置，所述非蒸鍍區劃分有阻隔區與焊接區，所述阻隔區具有多個阻隔開口，且多個所述阻隔開口位于所述焊接區與所述蒸鍍區之間。本發明實施例通過在蒸鍍區和焊接區之間設置阻隔區，在阻隔區進一步設置多個阻隔開口，可以在焊接過程中，焊接點將大褶皺打散成多個小褶皺時，阻擋小褶皺向蒸鍍區延伸，一定程度上緩解焊接過程中小褶皺向蒸鍍區延伸對對位精度造成的影響，提升蒸鍍效果。

技術領域

本申請涉及顯示技術領域，具體而言，涉及一種掩膜片和一種掩膜版。

背景技術

有機電致發光二極管(Organic Light Emitting Diode，OLED)顯示具有自發光、不需要背光源、對比度高、厚度薄、視角廣、反應速度快、可用于撓曲性面板、使用溫度范圍廣等優異特性，被認為是下一代的平面顯示器新型應用技術。

OLED的全彩顯示一般包括R(紅)G(綠)B(藍)子像素獨立發光、或白光OLED結合彩色濾光膜等方式。其中，RGB子像素獨立發光是目前采用最多的彩色模式，其是利用子像素單元中的有機發光材料獨立發光。

目前，有機發光材料層一般都是通過對有機材料進行真空蒸發鍍膜形成。其中，對于RGB子像素獨立發光的OLED，由于每個RGB子像素單元采用不同的有機發光材料，因而RGB子像素單元的有機發光層需要分別進行蒸鍍。

目前，顯示基板通常采用掩膜裝置來蒸鍍像素顯示區域的有機發光層。其中，掩膜裝置包括掩膜框架和焊接在掩膜框架上的掩膜片。在焊接掩膜片的過程中，由于掩膜片較薄，且掩膜片上設置有用于蒸鍍的圖案，因此，蒸鍍區的褶皺會對顯示效果造成影響。

發明內容

本發明提供一種掩膜片和掩膜版。

第一方面，本發明實施例提供一種掩膜片，其特征在于，包括：

蒸鍍區，所述蒸鍍區具有多個蒸鍍開口；

非蒸鍍區，與所述蒸鍍區鄰接設置，所述非蒸鍍區劃分有阻隔區與焊接區，所述阻隔區具有多個阻隔開口，且多個所述阻隔開口位于所述焊接區與所述蒸鍍區之間。

進一步地，所述蒸鍍區包括有效蒸鍍區和虛擬蒸鍍區，所述阻隔區位于所述虛擬蒸鍍區與所述焊接區之間。

進一步地，所述蒸鍍區為矩形，所述非蒸鍍區鄰接于所述蒸鍍區的短邊，且相對于所述蒸鍍區對稱設置。

進一步地，所述蒸鍍區的長邊方向為第一方向，所述蒸鍍區的短邊方向為第二方向，所述多個蒸鍍開口沿第一方向延伸，所述阻隔區沿第二方向延伸。

進一步地，所述阻隔區內沿所述第一方向排布有多列所述阻隔開口，任意相鄰兩列的所述阻隔開口的中心錯位排布。

進一步地，所述阻隔區內沿所述第二方向排布有多行所述阻隔開口，所述阻隔開口的行間距從所述阻隔區的中心向兩端逐漸增大。

進一步地，所述阻隔區內沿所述第二方向排布有多行所述阻隔開口，每一行所述阻隔開口的寬度從所述阻隔區的中心向兩端逐漸減小。

進一步地，所述阻隔區與所述蒸鍍區沿所述第二方向的長度相等。

進一步地，所述多個阻隔開口的形狀包括長條形、橢圓形、菱形中的至少一種；

進一步地，所述阻隔開口的形狀為長條形，所述長條形的長寬比范圍為5:1-4:1。

第二方面，本發明實施例還提供一種掩膜版，其特征在于，包括掩膜框架以及如上任一項所述的掩膜片，所述掩膜框架與所述掩膜片通過所述焊接區固定。