[發(fā)明專利]CMP拋光墊用聚氨酯及其制備方法

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• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111848906A
• 公開（公告）日: 2020-10-30
• 發(fā)明（設計）人: 代金輝;劉兆陽;李英乾;王旭
• 申請（專利權）人: 山東一諾威聚氨酯股份有限公司
• 主分類號: C08G18/66
• 分類號: C08G18/66;C08G18/48;C08G18/32;C08G18/42;C08G18/38;C08G18/12;C08K7/28;C08G101/00
• 代理公司: 青島發(fā)思特專利商標代理有限公司 37212
• 代理人: 趙真真

1.一種CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：由聚氨酯預聚物A組分和固化劑B組分制成，其中，A組分由以下質量百分比的原料制成：聚合多元醇A 30-59％，二異氰酸酯40-69％，抗水解劑0.1-1％；B組分由以下質量百分比的原料制成：胺類擴鏈劑20-50％，聚合多元醇B0-60％，空芯填料0-30％，增塑劑0-20％，催化劑0-0.3％。

2.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的聚合多元醇A為小分子醇或分子量在400-3000的聚四氫呋喃醚多元醇、聚己內酯多元醇或聚氧化丙烯醚多元醇中的一種或一種以上。

3.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的二異氰酸酯為4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯、改性的液化4,4’-二苯基甲烷二異氰酸酯、氫化MDI、己二異氰酸酯、異佛爾酮二異氰酸酯或甲苯二異氰酸酯中的一種或一種以上。

4.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的抗水解劑為碳化二亞胺單體或其聚合物。

5.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的胺類擴鏈劑為二甲硫基甲苯二胺、4,4’-亞甲基-雙-(3-氯-2，6-二乙基苯胺)、丙二醇二-對氨基苯甲酸酯、4,4’-二氨基二苯甲烷與氯化鈉的絡合物或4,4’-亞甲基-雙(2-氯苯胺)亞甲基中的一種或一種以上。

6.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的聚合多元醇B為官能度為2或3，分子量在400-3000的聚氧化丙烯醚多元醇或聚四氫呋喃醚多元醇中的一種或一種以上。

7.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的空芯填料為中空玻璃微珠或聚合物微球中的一種或一種以上。

8.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的增塑劑為鄰苯二甲酸二乙酯、碳酸丙烯酯、TXIB、TCPP或RDP中的一種或一種以上。

9.根據權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯，其特征在于：所述的催化劑為有機鉍類催化劑、有機鋅類催化劑、有機錫類催化劑或有機胺類催化劑中的一種或一種以上。

10.一種權利要求1所述的CMP拋光墊用聚氨酯的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：

(1)聚氨酯預聚體A組分的制備

將聚合多元醇A、二異氰酸酯和抗水解劑在75-85℃反應3～4小時，得到異氰酸根含量為9.5-18.0％的預聚物，得到A組分；

(2)固化劑B組分的制備

將胺類擴鏈劑、聚合多元醇B、空芯填料和增塑劑在100～110℃，-0.095MPa以下真空脫水至水分小于0.03％，之后加入純水和催化劑，攪拌均勻，得到B組分；

(3)聚氨酯彈性體的制備

將A組份和B組分按照100:30-80的質量比，在40-80℃下混合均勻，固化后即得聚氨酯拋光墊制品。