[發明專利]一種柔性顯示用玻璃基板聚酰亞胺薄膜生產工藝及裝置

在審

• 申請號: 202010610062.X
• 申請日: 2020-06-30
• 公開（公告）號: CN111791412A
• 公開（公告）日: 2020-10-20
• 發明（設計）人: 祝春才;許輝;曹河文;張群;金文斌
• 申請（專利權）人: 浙江中科玖源新材料有限公司
• 主分類號: B29C41/12
• 分類號: B29C41/12;B29C41/46;C08J5/18;B29K79/00;B29L7/00;C08L79/08
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 葉美琴

本發明提出了一種柔性顯示用玻璃基板聚酰亞胺薄膜生產工藝，包括以下步驟：S1、將涂布有聚酰亞胺漿料的玻璃基板進行真空干燥；S2、將真空干燥后的玻璃基板立即送入絕氧環境并進行升溫，升至低溫后保溫，進行低溫干燥；S3、在絕氧環境下，將低溫干燥后的玻璃基板繼續升溫，升至中溫后保溫，進行中溫亞胺化；S4、在絕氧環境下，將中溫亞胺化后的玻璃基板繼續升溫，升至高溫后保溫，進行高溫亞胺化；S5、在絕氧環境下，將高溫亞胺化后的玻璃基板進行降溫。本發明采用連續式生產工藝，節約了物料周轉、等待時間以及烘箱等待時間，減少了單片產品縱向方向的品質差異，從而提高了生產效率，降低了片與片之間的品質差異。

技術領域

本發明涉及柔性顯示技術領域，尤其涉及一種柔性顯示用玻璃基板聚酰亞胺薄膜生產工藝及裝置。

背景技術

柔性AMOLED顯示技術發展迅速，使得柔性顯示屏成為消費電子行業最具有黑科技的技術。全球高端手機和手表等消費電子產品，都選用柔性AMOLED 來作為顯示屏。柔性AMOLED核心在于使用高分子塑料基板，這種塑料基板需要具備耐高溫、耐腐蝕、尺寸穩定、機械強度高、易涂布等特性。

目前只有聚酰亞胺材料能滿足以上需求，其基本加工工藝為在光學玻璃上涂布聚酰亞胺漿料，再通過氮氣保護固化成膜，制作成軟性光學電子背板。客戶根據自身生產需求，在軟性電子背板上完成柔性OLED顯示器加工，在器件完成后，再通過激光、機械式等方法把載板光學玻璃脫離，制作成柔性AMOLED。

目前在制作柔性顯示用玻璃基板聚酰亞胺薄膜時，采用的工藝是，涂布積攢到一定數量→轉移到真空干燥→轉移到平面加熱板上預熱→積攢到一定數量→轉移到高溫烘箱→下線一批產品；這種工藝出現兩次停機等待、三次轉移的過程，會導致設備利用率差、批次內各片產品的品質差異較大、烘箱升降溫能耗損失，并且生產效率、良率不高。

發明內容

基于背景技術中存在的技術問題，本發明提出了一種柔性顯示用玻璃基板聚酰亞胺薄膜生產工藝及裝置。

本發明提出的一種柔性顯示用玻璃基板聚酰亞胺薄膜生產工藝，包括以下步驟：

S1、將涂布有聚酰亞胺漿料的玻璃基板進行真空干燥；

S2、將真空干燥后的玻璃基板立即送入絕氧環境并進行升溫，升至低溫后保溫，進行低溫干燥；

S3、在絕氧環境下，將低溫干燥后的玻璃基板繼續升溫，升至中溫后保溫，進行中溫亞胺化；

S4、在絕氧環境下，將中溫亞胺化后的玻璃基板繼續升溫，升至高溫后保溫，進行高溫亞胺化；

S5、在絕氧環境下，將高溫亞胺化后的玻璃基板進行降溫。

優選的，在S1中，真空干燥溫度控制在-5℃-100℃，真空干燥壓力控制在 10Pa-10000Pa，真空干燥時間控制在5-120min；優選的，真空干燥溫度控制在 20℃-30℃，真空干燥壓力控制在10Pa-100Pa，真空干燥時間控制在10-30min。

優選的，在S2中，采用風熱式升溫，升溫速度控制在1℃/min-150℃/min，低溫干燥溫度控制在50℃-200℃，低溫干燥時間控制在5-120min；優選的，升溫速度控制在50℃/min-100℃/min，低溫干燥溫度控制在100℃-150℃，低溫干燥時間控制在5-30min。

優選的，在S3中，采用風熱式升溫，升溫速度控制在1℃/min-150℃/min，中溫亞胺化溫度控制在250℃-350℃，中溫亞胺化時間控制在0.05min-50min；優選的，升溫速度控制在10℃/min-100℃/min，中溫亞胺化溫度控制在280℃ -320℃，中溫亞胺化時間控制在0.08min-5min。