[發明專利]鈮旋轉靶材的成型方法

在審

• 申請號: 202010604811.8
• 申請日: 2020-06-29
• 公開（公告）號: CN111996503A
• 公開（公告）日: 2020-11-27
• 發明（設計）人: 宿康寧;汪凱;杜領會;黃浩;李小平;李兆博;李積賢;任志東;張靜
• 申請（專利權）人: 寧夏東方鉭業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34;C23C14/14;B21B19/04;B21B37/00;B21B37/46
• 代理公司: 廣州市一新專利商標事務所有限公司 44220
• 代理人: 張芳

本發明涉及一種鈮旋轉靶材的成型方法。其特點是，包括如下步驟：(1)取圓柱體鈮錠，要求純度≥99.9％，直徑Φ≥190mm；(2)將鈮錠鍛造打圓，控制加工率20％?30％，打圓后的直徑Φ≥140mm；(3)車削表面缺陷，車削后的直徑Φ≥130mm；(4)在得到的鈮錠中心預制直徑15?45mm導向孔；(5)將得到的鈮錠加熱至80?120℃，涂附高溫防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；(6)將得到的鈮錠加熱至1000℃?1450℃，保溫；(7)采用三輥斜軋穿孔設備進行穿孔；(8)對得到的管坯進行校直即可。此方法生產效率高，材料利用率高，內部組織均勻，保證了旋轉鈮靶更高的使用要求。

技術領域

本發明涉及一種鈮旋轉靶材的成型方法。

背景技術

隨著電子產品體積不斷縮小及微型化，因此對控屏厚度要求也越來越薄、體積越來越小，這對旋轉鈮靶材也提出了更高的要求。之前所生產旋轉鈮靶材的關鍵成型工序采用熱擠壓的方式進行，而這種方法生產的旋轉鈮靶收率低，晶粒組織雖能達到要求但不均勻，生產成本高。

發明內容

本發明的目的是提供一種鈮旋轉靶材的成型方法，能夠獲得表面質量優秀、內部組織細小均勻的旋轉鈮靶材。

一種鈮旋轉靶材的成型方法，其特別之處在于，包括如下步驟：

(1)取圓柱體鈮錠，要求純度≥99.9％，直徑Φ≥190mm；

(2)將鈮錠鍛造打圓，控制加工率20％-30％，打圓后的直徑Φ≥140mm；

(3)車削表面缺陷，車削后的直徑Φ≥130mm；

(4)在得到的鈮錠中心預制直徑15-45mm導向孔，導向孔位于鈮錠中心，并且偏心度≤3mm，并且導向孔為與鈮錠長度相同的通孔；

(5)將得到的鈮錠加熱至80-120℃，涂附高溫防氧化玻璃粉，要求涂附2遍；

(6)將得到的鈮錠加熱至1000℃-1450℃，保溫60-120min；

(7)采用三輥斜軋穿孔設備進行穿孔，穿孔送進角α控制在130-180度、入口錐角β1控制在20-50度，軋輥轉速ηg控制在120-140轉/分，得到管坯；

(8)對得到的管坯進行校直即可。

步驟(8)中校直具體是首先用多棍校直機保證直線度不低于0.5mm/m，然后采用靜壓式冷校直的方法保證直線度不低于0.8mm/3米。

本發明所生產的旋轉鈮靶材主要應用于網絡通訊技術及先進觸控屏技術，本發明將采用斜軋穿孔的方法實現旋轉鈮靶的成型加工，此方法生產效率高，材料利用率高，所得到的產品內部組織均勻，保證了旋轉鈮靶更高的使用要求。

附圖說明

附圖1是本發明實施例1得到的靶材內部組織縱向結構顯微圖；

附圖2是本發明實施例1得到的靶材內部組織橫向結構顯微圖。

具體實施方式

實施例1：

本發明方法工藝步驟如下：鈮錠→鍛造→.車削表面→預制導向孔→表面防氧化層涂附→.加熱→穿孔→熱校直。

鈮錠：純度99.9％：Φ195mm；

鍛造：將上述鈮錠鍛造打圓,保證加工率20％-30％，Φ145mm；

車削表面：依據所生產產品規格，車削表面缺陷，Φ135mm；

預制導向孔：在錠材中心預制Φ30)導向孔，導向孔必須位于錠材中心，不得偏心，偏心度≤3mm。