[發明專利]壓電復合材料、壓電復合薄膜及其制備方法、應用和壓電器件在審
| 申請號: | 202010601299.1 | 申請日: | 2020-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN111847985A | 公開(公告)日: | 2020-10-30 |
| 發明(設計)人: | 李宋楚 | 申請(專利權)人: | 歐菲微電子技術有限公司 |
| 主分類號: | C04B26/08 | 分類號: | C04B26/08;C03C17/00;H01L41/18;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司: | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人: | 侯武嬌 |
| 地址: | 330200 江西省南昌市南昌*** | 國省代碼: | 江西;36 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 壓電 復合材料 復合 薄膜 及其 制備 方法 應用 器件 | ||
1.一種壓電復合材料,其特征在于,包括如下組分:有機材料、無機壓電陶瓷材料及鉛納米線,所述鉛納米線和所述無機壓電陶瓷材料分布于所述有機材料中。
2.如權利要求1所述的壓電復合材料,其特征在于,在所述無機壓電陶瓷材料和所述有機材料的總量中,所述無機壓電陶瓷材料的質量含量為50%~90%;
在所述有機材料、所述無機壓電陶瓷材料和所述鉛納米線的總量中,所述鉛納米線的質量含量為0.5%~10%。
3.如權利要求1所述的壓電復合材料,其特征在于,在所述無機壓電陶瓷材料和所述有機材料的總量中,所述無機壓電陶瓷材料的質量含量為75%~85%;
在所述有機材料、所述無機壓電陶瓷材料和所述鉛納米線的總量中,所述鉛納米線的質量含量為0.5%~3%。
4.如權利要求1至3任一項所述的壓電復合材料,其特征在于,所述無機壓電陶瓷材料選自鋯鈦酸鉛、鈦酸鉛及鈦酸鋇中的至少一種。
5.如權利要求1至3任一項所述的壓電復合材料,其特征在于,所述有機材料選自聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物、聚偏二氟乙烯、聚甲基丙烯酸甲酯及聚二甲基硅氧烷中的至少一種。
6.如權利要求1至3任一項所述的壓電復合材料,其特征在于,所述無機壓電陶瓷材料選自鋯鈦酸鉛及鈦酸鉛中的至少一種,所述有機材料選自聚偏二氟乙烯-三氟乙烯共聚物。
7.如權利要求1至6任一項所述的壓電復合材料的制備方法,其特征在于,包括如下步驟:
將有機材料、無機壓電陶瓷材料與鉛納米線混合均勻。
8.如權利要求7所述的壓電復合材料的制備方法,其特征在于,所述將有機材料、無機壓電陶瓷材料與鉛納米線混合均勻的步驟中,還包括加入有機溶劑混合以制備漿料的步驟。
9.如權利要求8所述的壓電復合材料的制備方法,其特征在于,所述壓電復合材料的制備方法還包括使所述漿料干燥成型的步驟。
10.如權利要求8或9所述的壓電復合材料的制備方法,其特征在于,
所述制備漿料的步驟包括如下步驟:
將所述有機材料與所述有機溶劑混合得到有機材料溶液,其中所述有機材料溶液中所述有機材料的質量含量為5%~30%;
在所述有機材料溶液中加入所述無機壓電陶瓷材料混合均勻,再加入所述鉛納米線混合均勻。
11.一種壓電復合薄膜,其特征在于,采用如權利要求1至6任一項所述的壓電復合材料經極化制得。
12.如權利要求1至6任一項所述的壓電復合材料、或如權利要求11所述的壓電復合薄膜在制備電子器件中的應用。
13.一種壓電器件,其特征在于,包含如權利要求11所述的壓電復合薄膜。
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