[發明專利]一種多級行星旋轉鍍膜機構

在審

• 申請號: 202010600336.7
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111676461A
• 公開（公告）日: 2020-09-18
• 發明（設計）人: 閆海濤
• 申請（專利權）人: 布勒萊寶光學設備（北京）有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 北京知匯林知識產權代理事務所(普通合伙) 11794
• 代理人: 楊華

本發明提供一種多級行星旋轉鍍膜機構，包括第一級固定齒輪、行星轉盤、第一級行星齒輪單元、第一級行星旋轉傳動裝置、第一級行星旋轉工作盤、第二級固定齒輪、第二級行星齒輪單元和第二級行星旋轉工作盤，所述第二級固定齒輪與所述行星轉盤固定連接，多個所述第二級行星齒輪單元固定于所述第一級行星旋轉工作盤上且分布為均可與所述第二級固定齒輪嚙合，所述第二級行星齒輪單元與所述第二級行星旋轉工作盤可一體轉動地連接。通過本發明，增加了被鍍膜工件表面各點的運動軌跡維度，使得被鍍膜工件表面各點在真空室內的運動所覆蓋范圍更廣，提高了被鍍膜工件表面的鍍膜均勻性。

技術領域

本發明屬于鍍膜技術領域，具體涉及一種多級行星旋轉鍍膜機構。

背景技術

在使用真空鍍膜設備對工件進行鍍膜的過程中，將多個工件安裝在工件盤 上，通過驅動機構和傳動機構帶動工件盤轉動，從而帶動多個工件在真空室內 沿一定運行軌道運動，實現工件表面鍍膜。現有的傳動機構為行星輪式傳動， 如圖1所示，固定齒輪01與真空室壁固定連接，固定齒輪01下方設置有行星 轉盤03，行星轉盤02中央與驅動裝置的輸出軸固定連接，行星轉盤03上可轉 動地安裝有多個行星齒輪02，多個行星齒輪02均圍繞在固定齒輪01外周并與 固定齒輪01嚙合，每個行星齒輪02下端通過行星旋轉傳動裝置04傳動連接 有工作盤05，每個工作盤05還同時與行星轉盤2固定連接。鍍膜過程中，驅 動裝置的輸出軸驅動行星轉盤03轉動，帶動工作盤05公轉，多個行星齒輪02 圍繞固定齒輪01轉動，由于嚙合作用，多個行星齒輪02還同步進行自轉運動， 再通過行星旋轉傳動裝置04帶動工作盤05同步進行自轉。

每個工作盤05上均安裝有多個工件，由于采用該單級公自轉旋轉系統， 工件表面的每個點只能按照行星轉盤03和工作盤05產生的兩個維度的軌跡運 動，運動所覆蓋的區域有限，由于真空室內各處的鍍膜材料分布不均，使得被 鍍膜工件的鍍膜均勻性較差。例如圖1所示的具有凹面或凸面形狀的工件，工 件上的A點永遠在外圈，B點永遠在內圈，導致兩點鍍膜程度不同，影響工件 鍍膜均勻性。

發明內容

因此，本發明的目的在于克服現有技術存在的不足，而提供一種能夠提高 工件鍍膜均勻性的多級行星旋轉鍍膜機構。

本發明的目的是通過如下技術方案來完成的，一種多級行星旋轉鍍膜機構， 包括：第一級固定齒輪、行星轉盤、第一級行星齒輪單元、第一級行星旋轉傳 動裝置和第一級行星旋轉工作盤，多個所述第一級行星齒輪單元固定于所述行 星轉盤上且分布為均可與所述第一級固定齒輪嚙合，所述第一級行星齒輪單元 與所述第一級行星旋轉工作盤可一體轉動地連接，其特征在于：還包括第二級 固定齒輪、第二級行星齒輪單元和第二級行星旋轉工作盤，所述第二級固定齒 輪與所述行星轉盤固定連接，多個所述第二級行星齒輪單元固定于所述第一級 行星旋轉工作盤上且分布為均可與所述第二級固定齒輪嚙合，所述第二級行星 齒輪單元與所述第二級行星旋轉工作盤可一體轉動地連接。

由于增加了第二級行星旋轉傳動結構，將第二級固定齒輪與行星轉盤固定 連接，將第一級行星旋轉工作盤與第一級行星齒輪單元傳動連接，通過在第一 級新型旋轉工作盤上設置與第二級固定齒輪嚙合的第二級行星齒輪單元，使得 鍍膜機構工作過程中，第二級行星齒輪單元的自轉可以帶動與其固定連接第二 級行星旋轉工作盤轉動，實現了第二級行星旋轉工作盤上安裝工件的轉動，增 加了被鍍膜工件表面各點的運動軌跡維度，提高了鍍膜均勻性。

進一步地，本發明的多級行星旋轉鍍膜機構，所述第二級固定齒輪為外齒 輪，所述第二級行星齒輪單元分布為均可與所述第二級固定齒輪的外周齒嚙合。

進一步地，本發明的多級行星旋轉鍍膜機構，所述第二級固定齒輪為內齒 輪，所述第二級行星齒輪單元分布為均可與所述第二級固定齒輪的內周齒嚙合。

進一步地，本發明的多級行星旋轉鍍膜機構，所述第二級行星齒輪單元為 單個第二級行星齒輪，多個所述第二級行星齒輪分布為均可與所述第二級固定 齒輪嚙合，且多個所述第二級行星齒輪分別與所述第二級行星旋轉工作盤可一 體轉動地連接。