[發(fā)明專利]雜散光測試系統(tǒng)測試腔用玻璃

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010600239.8
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111795928B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳欽芳;薛要克;馬占鵬;沈陽;林上民;劉陽
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01
• 代理公司: 西安智邦專利商標(biāo)代理有限公司 61211
• 代理人: 王楊洋

本發(fā)明涉及一種玻璃，具體涉及一種雜散光測試系統(tǒng)測試腔用低散射高吸收玻璃。本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有雜散光測試系統(tǒng)測試腔用玻璃存在占用空間大、不耐磨、容易吸附灰塵和散射特性低的技術(shù)問題，提供一種雜散光測試系統(tǒng)測試腔用玻璃。該玻璃包括作為基底的黑色浮法玻璃和作為表面的電子玻璃；所述電子玻璃與黑色浮法玻璃形狀相同且平行設(shè)置，二者外邊緣采用膠密封，二者間距不超過0.1mm，二者之間的區(qū)域填充作為過渡層的折射率匹配液，折射率匹配液的折射率介于兩側(cè)玻璃的折射率之間或與之相等，所述折射率匹配液與兩側(cè)玻璃折射率的差值不超過10^?2量級。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種玻璃，具體涉及一種雜散光測試系統(tǒng)測試腔用低散射高吸收玻璃。

背景技術(shù)

在高精度的雜散光測試中，實(shí)驗(yàn)室內(nèi)背景引入的雜散光影響不可忽視。目前，國內(nèi)、外高精度雜散光測試系統(tǒng)皆采用測試腔形式，將待測光機(jī)系統(tǒng)(即光學(xué)機(jī)械系統(tǒng))設(shè)置于測試腔內(nèi)，采用測試腔的優(yōu)點(diǎn)為：1)潔凈度高、可抑制空氣散射；2)散射度低，吸收度高，可直接抑制實(shí)驗(yàn)室內(nèi)來自墻壁的散射光，現(xiàn)有的雜散光測試系統(tǒng)測試腔材質(zhì)多采用黑色亞克力板，亞克力板屬于有機(jī)玻璃，其表面光滑，高質(zhì)量的壓克力板表面粗糙度可優(yōu)于(低于)4nm。光滑鏡面半球積分散射系數(shù)TIS(Total Integrate Scatter)與粗糙度的平方成正比，亞克力板在可見光范圍內(nèi)的光滑表面半球積分散射系數(shù)為10^-4量級。采用測試腔的缺點(diǎn)為：1)占用空間大，根據(jù)點(diǎn)源輻射公式可知，待測光機(jī)系統(tǒng)表面散射光對測試腔內(nèi)壁的照度與二者(即待測光機(jī)系統(tǒng)與測試腔內(nèi)壁)的距離平方成反比，因此增大測試腔的尺寸，可以減少返回待測光機(jī)系統(tǒng)入口的測試腔內(nèi)壁散射光；2)亞克力板表面硬度低，不耐磨，容易出劃痕，而且容易產(chǎn)生靜電進(jìn)而吸附灰塵，由于其本身熱膨脹系數(shù)較高，為10^-5～10^-4量級，熱膨脹時(shí)體積會增大，對其進(jìn)行拼接時(shí)需要預(yù)留縫隙，無論是其表面的劃痕、灰塵還是板間的縫隙都會產(chǎn)生散射光。雖然現(xiàn)在已有通過在亞克力板表面鍍硬化膜的方式對亞克力板表面耐磨性和防靜電性進(jìn)行改進(jìn)，但是現(xiàn)有常規(guī)工藝制作出來的亞克力板產(chǎn)品表面散射特性會降低(即光滑表面半球積分散射系數(shù)增大)，這種亞克力板的散射主要來自于表面硬化處理層與亞克力板基底界面的散射、以及表面硬化處理層本身引入的體散射。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是解決現(xiàn)有雜散光測試系統(tǒng)測試腔用玻璃存在占用空間大、不耐磨、容易吸附灰塵和散射特性低的技術(shù)問題，提供一種雜散光測試系統(tǒng)測試腔用玻璃。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供的技術(shù)解決方案如下：

一種雜散光測試系統(tǒng)測試腔用玻璃，其特殊之處在于：包括作為基底的黑色浮法玻璃和作為表面的電子玻璃；

所述電子玻璃與黑色浮法玻璃形狀相同且平行設(shè)置；

所述電子玻璃與黑色浮法玻璃的外邊緣采用膠密封；

所述電子玻璃與黑色浮法玻璃間距不超過0.1mm，二者之間的區(qū)域填充作為過渡層的折射率匹配液；

所述電子玻璃與黑色浮法玻璃的折射率相當(dāng)，所述折射率匹配液的折射率介于電子玻璃與黑色浮法玻璃的折射率之間或與之相等，所述折射率匹配液與電子玻璃折射率的差值、折射率匹配液與黑色浮法玻璃折射率的差值均不超過10^-2量級。

進(jìn)一步地，為了獲得較大的吸收率，所述黑色浮法玻璃的吸收率大于94％，且在400nm～2500nm波段的透過率低于10^-4量級。

進(jìn)一步地，為了獲得較小的散射率，所述電子玻璃的厚度為0.1～2mm、表面粗糙度低于2nm，且在400nm～2500nm波段的透過率為91％～92％。

進(jìn)一步地，為獲得大尺寸、超光滑、粗糙度分布均勻的電子玻璃，所述電子玻璃采用溢流下拉成型工藝制成。