[發明專利]腔室內機器人追蹤控制系統及包括其的基板處理裝置

在審

• 申請號: 202010599332.1
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN112230650A
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 金多率;姜現仁;鄭翰旭
• 申請（專利權）人: 細美事有限公司
• 主分類號: G05D1/02
• 分類號: G05D1/02;H01L21/677
• 代理公司: 北京鍾維聯合知識產權代理有限公司 11579
• 代理人: 羅銀燕

本發明涉及可利用多個超寬帶(UWB)雷達來檢測腔室內的機器人的位置的腔室內機器人追蹤控制系統。為此，本發明提供腔室內機器人追蹤控制系統，包括：超寬帶雷達，設置于腔室內；位置檢測部，通過利用借助上述超寬帶雷達的數據檢測在上述腔室內移動的機器人的位置；以及機器人控制部，通過對上述位置檢測部所檢測到的機器人的位置與障礙物的位置進行比較來控制上述機器人的移動。因此，根據本發明，具有如下的優點，即，可在腔室呢實時掌握機器人的位置，因此，可掌握機器人的移動路徑是否適當，可事先防止危急的事故。

技術領域

本發明涉及腔室內機器人追蹤控制系統及基板處理裝置，具體地，涉及可利用多個超寬帶(UWB)雷達檢測腔室內的機器人的位置的腔室內機器人追蹤控制系統及基板處理裝置。

背景技術

半導體工序包括照片、蝕刻、薄膜蒸鍍、清洗等多種工序。這種工序主要在工序腔室內進行，在向腔室內部移送晶片或多個部件時使用機器人。

即，上述機器人用于向腔室內移送基板或向腔室外送還完成工序的基板。

根據圖1所示的現有技術的韓國公開專利第10-2018-0029367號，記載了移送機器人監測方法。這種移送機器人包括支撐部件11、位于支撐部件11的手柄12、用于控制手柄12的控制器20，在手柄的驅動過程中，若判斷為在監測上述手柄的狀態的過程中具有異常，則上述控制器再次驅動為減少手柄的驅動速度的狀態，由此，再次檢測異常與否。

但是，這種移送機器人僅用于監測手柄的驅動位置、速度、扭矩等的信息，無法掌握移送機器人的位置。

當手動操作機器人時，以機器人為基準，利用前進距離、旋轉角度、高低等的坐標來進行操作。

但是，在機器人進入腔室內部的情況下，在外部無法掌握機器人的當前位置，在機器人與如壁的障礙物碰撞的情況下，無法掌握實際上機器人如何移動而發生事故。

發明內容

本發明用于解決如上所述的問題，具體地，通過實時掌握在腔室內移動的機器人的位置來適當地進行控制。

并且，累積與機器人的移動路徑有關的數據來提供最優化的機器人的控制方法。

為了實現如上所述的目的，本發明提供腔室內機器人追蹤控制系統，包括：超寬帶雷達，設置于腔室內；位置檢測部，通過利用借助上述超寬帶雷達的數據檢測在上述腔室內移動的機器人的位置；以及機器人控制部，通過對上述位置檢測部所檢測到的機器人的位置與障礙物的位置進行比較來控制上述機器人的移動。

上述機器人控制部計算機器人的坐標與障礙物的坐標之間的測定距離，可對上述測定距離與安全距離進行比較。

優選地，存儲部對每個障礙物設置獨立的安全距離來存儲，上述機器人控制部在通過上述位置檢測部所檢測到的機器人的坐標抽取最短距離障礙物，由此，判斷上述機器人的坐標與上述最短距離障礙物坐標之間的測定距離是否達到所檢測到的安全距離以上。

上述超寬帶雷達設置3個以上，上述位置檢測部形成將通過各個超寬帶雷達檢測到的與機器人之間的距離作為半徑的虛擬圓，可將上述圓的最多交點設置為上述機器人的坐標。

優選地，在上述機器人設置有介電常數與其他障礙物不同的探測電介質。

上述機器人控制部在反復進行的相同作業中計算腔室內部的障礙物的坐標與機器人的坐標之間的測定距離，并可與之前作業的測定距離進行比較來校正機器人的移動。

優選地，上述機器人控制部利用存儲有以作業內容為基礎的障礙物地圖的存儲部來對障礙物與非障礙物進行互相轉換。

根據本發明，本發明包括：腔室；機器人，進入上述腔室的內部；超寬帶雷達，設置于上述腔室內；位置檢測部，通過利用借助上述超寬帶雷達的數據檢測在上述腔室內移動的上述機器人的位置；以及存儲部，存儲通過上述位置檢測部檢測到的上述機器人的坐標。