[發明專利]一種基于視覺的石墨舟倒片檢測方法、裝置及系統

有效

• 申請號: 202010598314.1
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111754490B
• 公開（公告）日: 2023-08-08
• 發明（設計）人: 劉帥;謝成;成秋云;朱輝;張春城;吳德軼
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: G06T7/00
• 分類號: G06T7/00;G06T7/11;G06T7/13;G06T7/181;G01B11/00;G01B11/02
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 廖元寶

本發明公開了一種基于視覺的石墨舟倒片檢測方法、裝置及系統，屬于管式PECVD設備技術領域，用于解決目前倒片檢測結構復雜、檢測精度低的技術問題，此方法包括步驟：獲取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟圖像；2)對各石墨舟圖像進行圖像處理，得到石墨舟圖像中硅片邊緣與較近的石墨舟槽邊緣距離的較大距離值；3)基于較大距離值判斷對應的石墨舟槽內的硅片是否存在倒片。本發明具有檢測精度高、檢測可靠性高等優點。

技術領域

本發明主要涉及管式PECVD設備技術領域，具體涉及一種基于視覺的石墨舟倒片檢測方法、裝置及系統。

背景技術

PECVD設備是半導體加工中的鍍膜沉積設備，可應用于光伏電池片硅片鍍膜工藝，提高光伏電池片的發電效率?，F有的管式PECVD設備采用石墨舟來承載硅片進行鍍膜工藝生產，通過其自動上下料系統與自動插片機的傳輸帶相銜接，實現石墨舟的自動上下物料。石墨舟經過自動插片機進行硅片插片，再經過傳輸帶輸送至PECVD的自動上下物料系統，最后通過過機械手將石墨舟抓取至推舟機構上，從而實現石墨舟的自動上下物料。石墨舟在傳輸過程中，由于機械振動或者插片機插片不當導致硅片在石墨舟中可能出現倒片的情況，倒片的硅片將會導致鍍膜不良，影響產品質量和增加產品成本，因此在石墨舟進爐內進行工藝前需要能夠檢測出石墨舟內出現倒片的現象。

現有的石墨舟倒片檢測裝置較為復雜，且只能檢測出完全傾倒的倒片，如“一種具有倒片檢測裝置的石墨舟側向出舟機構201611117340.8”的發明專利申請，該專利申請在石墨舟的上方設置多個光電開關，石墨舟下方設置有多個反光座，石墨舟運動在光電開關下方時，如果石墨舟內沒有倒片，光電開關發出的光能夠穿過石墨舟上的槽后照射到反光座上并反射回光電開關，從而實現倒片的檢測。但此種解決方案結構較為復雜，受光電開關的安裝精度和檢測精度影響，只能檢測出傾倒角度較大的硅片倒片，對于小角度傾倒或放置不穩的硅片不能夠進行檢測，倒片檢出率不能夠滿足要求。

發明內容

本發明要解決的技術問題就在于：針對現有技術存在的技術問題，本發明提供一種檢測精度高、檢測可靠性高的基于視覺的石墨舟倒片檢測方法、裝置及系統。

為解決上述技術問題，本發明提出的技術方案為：

一種基于視覺的石墨舟倒片檢測方法，包括步驟：

1)獲取在石墨舟的不同位置采集的石墨舟圖像；

2)對各石墨舟圖像進行圖像處理，得到石墨舟圖像中硅片邊緣與較近的石墨舟槽邊緣距離的較大距離值；

3)基于較大距離值判斷對應的石墨舟槽內的硅片是否存在倒片。

作為上述技術方案的進一步改進：

在步驟2)中，圖像處理的具體過程為：

2.1)圖像標定校正：標定圖像中石墨舟的四周邊緣位置坐標，依據邊緣定位分別對兩張圖片進行梯形校正，截取石墨舟邊緣線以內的圖像；

2.2)圖像分割截取：分別對經過坐標標定和梯形校正的各幅石墨舟圖像進行分割截取，依據圖像坐標對每個放置硅片的石墨舟槽進行分割并標識，得到n*m幅“槽圖像(n，m)”；

2.3)圖像灰度處理：對截取出的“槽圖像(n，m)”進行灰度化，將彩色圖像轉化為灰度圖像；

2.4)邊緣檢測濾波：對單個“槽圖像(n，m)”進行邊緣檢測濾波，濾波后的圖像再進行二值化處理，形成邊緣檢測后的“槽圖像(n，m)”；

2.5)圖像合成：將各幅圖像切割提取的“槽圖像(n，m)”進行疊加，合成新的“槽圖像(n，m)”，再對新的“槽圖像(n，m)”按照行列號進行圖像拼接，合成最終石墨舟二值化圖像；

2.6)硅片偏移距離檢測：對石墨舟二值化圖像中硅片邊緣圖像進行提取，并計算硅片邊緣與較近的石墨舟槽邊緣距離的較大距離值k(n，m)。