[發明專利]一種插片機分區域控制系統及控制方法

有效

• 申請號: 202010598268.5
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111694334B
• 公開（公告）日: 2021-10-22
• 發明（設計）人: 王海鷗;劉杰;胡俊強;周勇
• 申請（專利權）人: 湖南紅太陽光電科技有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418;C23C16/52;C23C16/50;H01L21/67
• 代理公司: 湖南兆弘專利事務所(普通合伙) 43008
• 代理人: 廖元寶

本發明公開了一種插片機分區域控制系統，包括花籃流轉工位控制單元、硅片流轉工位控制單元、機器人工位控制單元和橫移工位控制單元；其中一個工位的控制單元為主控制單元，主控制單元的供電電源的輸入端用于連接外部電源，主控制單元的供電電源的輸出端則分別與其它各工位控制單元的電源相連；各工位控制單元之間相互通訊連接以形成環網。本發明還公開了一種控制方法，包括：在初始狀態下，一鍵啟動各個工位控制單元；在某個工位控制單元出現故障時，故障的工位控制單元跳出自動，進入故障狀態，其他工位控制單元則不受影響；故障處理完成后，重新啟動此工位控制單元，進入自動模式。本發明具有分區獨立控制、測試以及運行效率高等優點。

技術領域

本發明主要涉及插片機技術領域，特指一種插片機分區域控制系統及控制方法。

背景技術

十管插片機是針對十管PECVD的配套設備，功能主要有兩個，進料和出料。進料過程為花籃取片→機器人取片→石墨舟插片→送石墨舟進PE；出料過程為石墨舟出PE→石墨舟取片→機器人插片→花籃插片。

整個工藝的完成需要四個工位，花籃流轉，硅片流轉，機器人插取片，石墨舟橫移?；ɑ@流轉工位由進滿花籃，出滿花籃，手動補空花籃，NG片進空花籃，NG片出滿花籃，空花籃循環網帶和緩存構成，設計的主要依據是針對客戶是人工上料，還是AGV送料；硅片流轉工位上層由花籃升降，伸縮傳片，傳片緩存，進出緩存升降，插取升降，NG片橫移構成，下層有滿花籃循環；機器人插取片由機器人和舟傳輸機構構成。石墨舟橫移由橫移機構和舟傳輸機構構成。

在整套式控制系統組裝調試時，需整套設備供電、網絡都組裝完成后才能進行設備對點，以及測試工作；如果某工位出現故障會造成整臺設備停機，切換到手動，處理完故障再開自動，大大降低了生產效率。同時某工位設備故障會造成設備整體停機，影響到正常工位的工作，降低了工作效率，產量大大折扣，如果出現需重新初始化的故障，耽誤的時間會更多，還需人工清理整臺設備的當前狀態，費時費力，嚴重影響設備產能。另外整體停機后，可能需要對設備整體初始化，費時費人工。

發明內容

本發明要解決的技術問題就在于：針對現有技術存在的技術問題，本發明提供一種運行效率高的插片機分區域控制系統及控制方法。

為解決上述技術問題，本發明提出的技術方案為：

一種插片機分區域控制系統，包括花籃流轉工位控制單元、硅片流轉工位控制單元、機器人工位控制單元和橫移工位控制單元；其中一個工位的控制單元為主控制單元，所述主控制單元的供電電源的輸入端用于連接外部電源，所述主控制單元的供電電源的輸出端則分別與其它各工位控制單元的電源相連；各工位控制單元之間相互通訊連接以形成環網。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述主控制單元的供電電源的輸入端與外部電源之間設置有總急停開關；所述主控制單元的供電電源的輸出端與其它各工位控制單元的電源之間設置有獨立急停開關。

所述主控制單元連接有觸摸屏。

各工位控制單元之間通過PN網線連接。

本發明還公開了一種基于如上所述的插片機分區域控制系統的控制方法，包括：

在初始狀態下，一鍵啟動各個工位控制單元；

在某個工位控制單元出現故障時，故障的工位控制單元跳出自動，進入故障狀態，其他工位控制單元則不受影響；

故障處理完成后，重新啟動此工位控制單元，進入自動模式。

作為上述技術方案的進一步改進：

所述花籃流轉工位控制單元、硅片流轉工位控制單元、機器人工位控制單元和橫移工位控制單元各自對應獨立的控制指令以及獨立的運行狀態顯示。