[發(fā)明專利]一種共光路相移數(shù)字全息顯微測量裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202010597987.5 | 申請日： | 2020-06-28 |
| 公開（公告）號： | CN111796501B | 公開（公告）日： | 2022-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 劉丙才;馮方;田愛玲;劉衛(wèi)國;王紅軍;朱學亮;岳鑫;潘永強 | 申請（專利權(quán)）人： | 西安工業(yè)大學 |
| 主分類號： | G03H1/04 | 分類號： | G03H1/04;G03H1/12;G01B11/24;G01B9/021 |
| 代理公司： | 西安利澤明知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 61222 | 代理人： | 林兵 |
| 地址： | 710000 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 共光路 相移 數(shù)字 全息 顯微 測量 裝置 | ||
1.一種共光路相移數(shù)字全息顯微測量裝置，其特征在于，包括沿光路方向依次固定設(shè)置的光纖激光器(1)、光纖準直器(2)、可調(diào)衰減器(3)、顯微物鏡(5)、平面平晶I(6)、平面平晶II(7)、壓電陶瓷驅(qū)動器(8)、會聚透鏡(9)、濾波器(10)和成像探測器件(11)，所述成像探測器件(11)通過電纜與計算機(12)連接，所述光纖激光器(1)與光纖準直器(2)通過單模光纖連接，所述顯微物鏡(5)的焦平面上放置待測樣品(4)，所述平面平晶I(6)和所述平面平晶II(7)緊鄰，所述平面平晶I(6)后表面鍍增透膜，所述平面平晶II(7)前表面鍍有高反膜，后表面與所述壓電陶瓷驅(qū)動器(8)固定連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種共光路相移數(shù)字全息顯微測量裝置，其特征在于，所述壓電陶瓷驅(qū)動器(8)與計算機(12)用控制線連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種共光路相移數(shù)字全息顯微測量裝置，其特征在于，濾波器(10)置于平面平晶I(6)前表面反射光束的會聚焦點處。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種共光路相移數(shù)字全息顯微測量裝置，其特征在于，所述濾波器(10)包括針孔濾波窗口(14)和圓孔濾波窗口(15)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種共光路相移數(shù)字全息顯微測量裝置，其特征在于，所述可調(diào)衰減器(3)和顯微物鏡(5)之間還設(shè)置有分束鏡(13)。
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G03H 全息攝影的工藝過程或設(shè)備
G03H1-00 應(yīng)用光波、紅外波或紫外波取得全息圖或由此獲得圖像的全息攝影工藝過程或設(shè)備；及其特殊的零部件
G03H1-02 .零部件
G03H1-04 .產(chǎn)生全息圖的工藝過程或設(shè)備
G03H1-22 .從全息圖取得光學圖像的工藝過程或設(shè)備
G03H1-26 .專用于產(chǎn)生復式全息圖或由復式全息圖取得圖像的工藝過程或設(shè)備，例如，彩色技術(shù)
G03H1-32 .用于消除斑點的系統(tǒng)
