[發明專利]消除透鏡色差的激光修復裝置及方法

有效

• 申請號: 202010596542.5
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN112171051B
• 公開（公告）日: 2022-05-31
• 發明（設計）人: 金弘植
• 申請（專利權）人: HB技術有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00
• 代理公司: 北京弘權知識產權代理有限公司 11363
• 代理人: 郭放;許偉群

1.一種激光修復裝置，其特征在于，包括：

激光裝置，其照射多個相互不同的波長的激光束；

狹縫，其改變所通過的激光束或光的形狀；

第一照明，其照射用于確認上述狹縫所改變的激光束的形狀的光；

物鏡，其將穿過上述狹縫的激光束及上述第一照明的光向待修復的基板照射；

管透鏡，其使激光束或光經由上述物鏡向基板照射；

圖像裝置，其接收從上述基板反射的光而輸出所接收的光的圖像；以及

控制部，其分析從上述圖像裝置輸出的光的圖像而調節上述管透鏡的移動，

在所分析的光的面積未超過預設基準值的情況下，上述控制部使上述管透鏡移動而使其遠離或靠近上述狹縫，從而調節要照射到上述基板的光的成像距離，據此使光的面積超過預設基準值，

上述控制部對上述管透鏡進行控制而使上述管透鏡的移動量滿足下式：

管透鏡的移動量＝(物鏡的放大率/管透鏡的放大率)²×物鏡的焦距。

2.根據權利要求1所述的激光修復裝置，其特征在于，

上述激光裝置所照射的波段根據待修復的基板的修復方法而不同。

3.根據權利要求1所述的激光修復裝置，其特征在于，

還包括第一分束器，上述第一分束器使上述激光裝置所照射的激光束通過而到達上述狹縫，并將上述第一照明所照射的光向上述狹縫反射。

4.根據權利要求1所述的激光修復裝置，其特征在于，

還包括第二分束器，上述第二分束器使經由上述管透鏡和上述物鏡而要向待修復的基板照射的光通過，并將從待修復的基板反射的光向上述圖像裝置反射。

5.一種激光修復方法，其特征在于，包括：

第一照射步驟，向狹縫照射用于確認上述狹縫所改變的激光束的形狀的光；

第二照射步驟，將通過了上述狹縫的光經由管透鏡而向待修復的基板照射；

接收光步驟，接收從待修復的基板反射的光；

判斷步驟，其中，對接收到的光進行分析而判斷向上述基板照射的光的面積是否超過預設基準值；以及

激光束照射步驟，在照射的光的面積超過預設基準值的情況下，經由上述管透鏡照射用于修復的激光束，在照射的光的面積未超過預設基準值的情況下，使上述管透鏡移動而調節上述管透鏡和上述狹縫之間的距離，從而使照射到上述基板的光的面積超過預設基準值，之后，經由距離被調節的管透鏡照射用于修復的激光束，

在照射的光的面積未超過預設基準值的情況下，使上述管透鏡的移動量滿足下式：

管透鏡的移動量＝(物鏡的放大率/管透鏡的放大率)²×物鏡的焦距。

6.根據權利要求5所述的激光修復方法，其特征在于，

在上述第一照射步驟中所照射的光具有可見光的波段，以便能夠通過上述判斷步驟得以分析。