[發明專利]用于利用電子顯微鏡從生命科學樣本的連續超薄切片記錄納米分辨率3D圖像數據的方法

在審

• 申請號: 202010596197.5
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN112147170A
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: H·費利佩奧;C·萊維恩;T·弗蘭克
• 申請（專利權）人: FEI公司
• 主分類號: G01N23/2251
• 分類號: G01N23/2251;G01N23/2255
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張凌苗;申屠偉進

1. 一種方法，其包括，利用處理器：

獲得與一系列試樣切片相關聯的一組預覽圖像；以及

處理所述一組預覽圖像的所述預覽圖像中的每一個以配準所述預覽圖像。

2.根據權利要求1所述的方法，其中基于所述預覽圖像中的一個或多個中的至少一個特征來處理所述預覽圖像以進行配準。

3.根據權利要求1所述的方法，另外其中基于選自所述一組預覽圖像的參考預覽圖像來處理每一預覽圖像以進行配準。

4.根據權利要求1-3中任一項所述的方法，其進一步包括獲得與試樣的關注區（ROI）相關聯的一組切片圖像，其中所述切片圖像具有高于與所述預覽圖像相關聯的分辨率的分辨率，其中所述切片圖像基于配準的預覽圖像而對準。

5.根據權利要求1-4中任一項所述的方法，其中基于選自所述一組預覽圖像的搜索模板的相關來處理每一預覽圖像以進行配準。

6.根據權利要求1-5中任一項所述的方法，其中所述一組預覽圖像包含N個預覽圖像0、...、N，其中N是整數，且基于選自所述一組預覽圖像的搜索模板來處理至少一個預覽圖像以進行配準。

7.根據權利要求6所述的方法，其中與第(i-1)預覽圖像進行比較來配準第i預覽圖像，其中i為大于一且小于N的整數。

8.根據權利要求1所述的方法，其中處理所述一組預覽圖像的所述預覽圖像中的每一個以配準所述預覽圖像包括對準所述預覽圖像或存儲與對準相關聯的圖像變換。

9.根據權利要求1所述的方法，其中所述預覽圖像與第一分辨率相關聯，且所述方法進一步包括基于配準的預覽圖像獲得具有第二分辨率的一組關注區（ROI）圖像，其中所述第二分辨率高于所述第一分辨率。

10.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括：

獲得包含與多個試樣切片相關聯的圖像區域的圖像；

處理所述圖像以識別與所述試樣切片相關聯的所述圖像區域；以及

建立試樣切片位置，其中所述預覽圖像中的每一個與相應試樣切片相關聯。

11.根據權利要求10所述的方法，其進一步包括確定與同所述試樣切片相關聯的所述圖像區域的對準相關聯的平臺坐標。

12.根據權利要求1所述的方法，其進一步包括獲得選定切片中的每一個的關注區（ROI）圖像，以及基于所述預覽圖像的對準產生所述ROI的至少一部分的三維重建。

13.一種系統，其包括：

光學成像器，其被定位成獲得包含多個試樣切片的襯底的概覽圖像；

第一圖像處理器，其被聯接以接收所述襯底的所述概覽圖像且定位與所述多個試樣切片相關聯的圖像部分；

帶電粒子束（CPB）成像系統，其被配置成產生與所述試樣切片中的每一個的選定部分相關聯的預覽圖像；以及

第二圖像處理器，其被聯接以接收所述預覽圖像且確定所述預覽圖像的對準。

14.根據權利要求13所述的設備，其中所述CPB成像系統被配置成產生與所述試樣切片中的每一個相關聯的ROI圖像，且基于所述預覽圖像的所述對準來對準所述ROI圖像。

15.根據權利要求14所述的設備，其中所述第一圖像處理器和所述第二圖像處理器是相同的圖像處理器。

16.根據權利要求13所述的設備，其中由所述光學成像器產生的所述襯底的所述圖像具有第一分辨率，所述預覽圖像具有高于所述第一分辨率的第二分辨率，且所述ROI圖像具有高于所述第二分辨率的第三分辨率。