[發明專利]高溫蒸發源及其冷卻裝置

有效

• 申請號: 202010594608.7
• 申請日: 2020-06-28
• 公開（公告）號: CN111733387B
• 公開（公告）日: 2023-01-06
• 發明（設計）人: 艾金虎
• 申請（專利權）人: 埃頻（上海）儀器科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;F27D9/00
• 代理公司: 上海智晟知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31313
• 代理人: 李鏑的

1.一種高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述高溫蒸發源的冷卻裝置包括：

隔熱層，被配置為包裹加熱絲，并使加熱絲的熱量與其他部件隔離；

鉬基座，被配置為支撐所述隔熱層；

水冷電極，被配置為承接所述加熱絲的端部，延伸出所述鉬基座；

水冷罩，被配置為包裹所述隔熱層，并對所述隔熱層的外表面進行水冷冷卻；

電極基座，被配置為固定所述水冷電極及承載所述水冷罩；

絕緣環，被配置為隔絕所述電極基座與所述水冷電極并使兩者絕緣；

所述電極基座包括第三基座和第四基座，所述第三基座與所述第四基座壓接，

所述水冷電極還包括銅電極，銅電極的第一端部連接鉬電極的第二端部，銅電極的第二端部延伸出所述第四基座；

所述絕緣環包裹并固定所述鉬電極與所述銅電極的連接處，并從所述第三基座和所述第四基座的表面延伸出，以夾持所述水冷電極的本體；

所述第三基座用于固定絕緣環的外壁；

所述鉬電極與所述銅電極、所述水冷電極與所述絕緣環、所述絕緣環與所述第三基座均通過釬焊固定。

2.如權利要求1所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述加熱絲的材料為鎢，所述加熱絲的直徑為1.2毫米。

3.如權利要求1所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述高溫蒸發源包括坩堝及坩堝支撐，所述加熱絲纏繞于所述坩堝外圍，所述坩堝支撐位于所述坩堝的底部。

4.如權利要求3所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述隔熱層包括底部熱屏蔽層與側壁熱屏蔽層，其中：

所述底部熱屏蔽層由6片以上隔熱片組成；

所述底部熱屏蔽層設置于所述鉬基座與所述坩堝之間；

所述側壁熱屏蔽層包裹所述隔熱片的外沿。

5.如權利要求4所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述鉬基座包括第一基座、第二基座、第一鉬螺桿和第二鉬螺桿，所述水冷電極包括鉬電極，其中：

所述第一基座用于支撐所述底部熱屏蔽層，所述第二基座用于支撐所述側壁熱屏蔽層，所述第一鉬螺桿將所述第一基座和所述第二基座連接并固定，所述第二鉬螺桿將所述第二基座和所述電極基座連接并固定；

所述第一基座上具有通孔，以供所述加熱絲穿過；

所述第二基座上具有通孔，以供所述鉬電極穿過；

鉬電極的第一端部承接所述加熱絲的端部；

所述第一鉬螺桿的直徑為2毫米，所述第二鉬螺桿的直徑為2毫米。

6.如權利要求5所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述絕緣環的材料為藍寶石。

7.如權利要求5所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述第三基座和所述第四基座在中心位置具有通孔，以使熱電偶從通孔中穿過，所述第三基座與所述第四基座通過螺栓壓接。

8.如權利要求5所述的高溫蒸發源的冷卻裝置，其特征在于，所述水冷罩包括內壁、外壁及罩底，其中：

所述內壁包裹所述側壁熱屏蔽層的外表面，所述第四基座的外邊緣突出于所述第三基座的外邊緣；

所述外壁與所述內壁呈同心圓柱結構，所述內壁與所述外壁之間容置冷卻液，所述罩底固定于所述第四基座的外邊緣上。

9.一種高溫蒸發源，其特征在于，包括如權利要求1～8任一項所述的冷卻裝置。