[發(fā)明專利]一種衍射光柵結(jié)構(gòu)及其制備方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202010594124.2
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111580206B
• 公開（公告）日: 2022-06-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊光華;齊月靜;李璟;蘇佳妮;馬敬
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 周天宇

1.一種衍射光柵結(jié)構(gòu)，包括多個重復(fù)的周期結(jié)構(gòu)，每一周期結(jié)構(gòu)包括至少一個柵脊和一個柵槽，其中：

每一周期結(jié)構(gòu)由中心位置向外均包括多個部分，每一部分為柵脊或者柵槽，當(dāng)所述部分為柵槽時其深度滿足預(yù)設(shè)條件；

每一周期結(jié)構(gòu)由中心位置向外依次包括第一部分、第二部分、第三部分以及第四部分；

所述第一部分和第三部分為柵槽，第二部分和第四部分為柵脊；或者第一部分和第三部分為柵脊，第二部分和第四部分為柵槽；

第一部分的寬度為d/28，第二部分的寬度為6d/28，第三部分的寬度為6d/28，第四部分的寬度為d/28，d為一周期結(jié)構(gòu)的寬度，所述預(yù)設(shè)條件為：

h為柵槽的深度，λ為入射光波長，n為整數(shù)；或者

第一部分的寬度為5d/28，第二部分的寬度為2d/28，第三部分的寬度為2d/28，第四部分的寬度為5d/28，d為一周期結(jié)構(gòu)的寬度，所述預(yù)設(shè)條件為：

h為柵槽的深度，λ為入射光波長，n為整數(shù)。

2.一種衍射光柵結(jié)構(gòu)的制備方法，包括：

S1，確定第一部分、第二部分、第三部分以及第四部分的類型，其中所述類型包括柵脊和柵槽；

S2，確定第一部分、第二部分、第三部分以及第四部分的寬度；

S3，根據(jù)所述類型和寬度對光柵型材進(jìn)行加工獲得衍射光柵結(jié)構(gòu)；

其中，第一部分和第三部分為柵槽，第二部分和第四部分為柵脊；或者第一部分和第三部分為柵脊，第二部分和第四部分為柵槽，所述柵槽的深度滿足預(yù)設(shè)條件；

第一部分的寬度為d/28，第二部分的寬度為6d/28，第三部分的寬度為6d/28，第四部分的寬度為d/28，d為一周期結(jié)構(gòu)的寬度，所述預(yù)設(shè)條件為：

h為柵槽的深度，λ為入射光波長，n為整數(shù)；

或者，第一部分的寬度為5d/28，第二部分的寬度為2d/28，第三部分的寬度為2d/28，第四部分的寬度為5d/28，d為一周期結(jié)構(gòu)的寬度，所述預(yù)設(shè)條件為：

h為柵槽的深度，λ為入射光波長，n為整數(shù)。