[發明專利]一種CF工序光刻膠返工液組合物

有效

• 申請號: 202010592608.3
• 申請日: 2020-06-24
• 公開（公告）號: CN111638632B
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 劉小勇;李叢香;房龍翔
• 申請（專利權）人: 福建省佑達環保材料有限公司
• 主分類號: G03F7/42
• 分類號: G03F7/42
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 修斯文;蔡學俊

1.一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，按質量百分比計，所述組合物包含以下組分：0.5-40%的無機堿性物質，0.5-45%的有機胺，0.1-50%的質子性極性有機溶劑，0.1-50%的非質子極性有機溶劑，0.1-30%的環狀醇類化合物，0.01-10%的化學式A-Gemini型表面活性劑，其余量為水；所述化學式A-Gemini型表面活性劑，化學式A為：

；

其中n為1-13的整數。

2.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，按質量百分比計，所述組合物包含以下組分：5-30%的無機堿性物質，3-30%的有機胺，1-30%的質子性極性有機溶劑，1-30%的非質子極性有機溶劑，0.5-15%的環狀醇類化合物，0.01-5%的化學式A-Gemini型表面活性劑，其余量為水。

3.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，所述無機堿性物質為氫氧化鋰，氫氧化鈉，氫氧化鉀，氫氧化鍶，氫氧化鈣，氫氧化鋇，碳酸鈉，碳酸鉀，碳酸氫鈉，碳酸氫鉀中至少一種。

4.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，所述有機胺為鏈烷醇胺，包括膽堿，單乙醇胺，二乙醇胺，三乙醇胺，單丙醇胺，2-氨基乙醇，2-（乙基氨基）乙醇，2-（甲基氨基）乙醇，N-甲基二乙醇胺，N,N-二甲基乙醇胺，N,N-二乙氨基乙醇，2-（2-氨基乙基氨基）-1-乙醇，1-氨基-2-丙醇，2-氨基-1-丙醇，3-氨基-1-丙醇，4-氨基-1-丁醇，二丁醇胺中的一種或幾種。

5.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，所述質子性極性溶劑選自下組中的任意一種或多種，包括：乙二醇甲醚，乙二醇乙醚，乙二醇丁醚，乙二醇，丙二醇，二乙二醇單甲醚，二乙二醇單乙醚，二乙二醇單丁醚，丙二醇單甲醚，丙二醇單乙醚，丙二醇單丁醚。

6.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，所述非質子極性有機 溶劑選自下組中的任意一種或多種，包括：N-甲基吡咯烷酮，二乙基甲酰胺，二甲基丙酰胺，N-甲基丙酰胺，N-甲基甲酰胺，二甲基亞砜，二甲基乙酰胺，二乙基亞砜，二丙基亞砜，環丁砜。

7.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，所述環狀醇類化合物包括環狀芳香族醇或環狀脂環類醇；其中環狀芳香族醇選自苯酚，甲酚，二甲苯酚，鄰苯二酚，間苯二酚，對苯二酚，鄰苯三酚，苯三酚，鄰羥基芐醇，苯甲醇，苯乙醇中的一種或幾種；環狀脂環類醇選自四氫糠醇，吡咯烷甲醇，吡咯烷乙醇，吡啶甲醇及吡啶乙醇中的一種或幾種。

8.根據權利要求1所述的一種CF工序光刻膠返工液組合物，其特征在于，所述CF工序光刻膠返工液組合物的制備方法為：往純水中先添加無機堿，有機胺，然后添加質子性極性有機溶劑和非質子性極性有機溶劑，加入Gemini型表面活性劑，在200rpm的攪拌速度下形成均一體系，一邊攪拌一邊將環狀醇類化合物滴加到體系中，得到均一穩定澄清透明組合物。